[发明专利]背面触点太阳能电池及制造方法

权利要求书

1.一种在背面触点太阳能电池中形成有效扩散区的方法，所述方法包括：

提供要加工成太阳能电池的晶片，所述晶片的正面配置成在太阳能电池正常运行时朝向太阳；

在要加工成太阳能电池的晶片的背面上形成第一组掺杂剂源，该晶片具有配置成在太阳能电池正常运行时朝向太阳的正面，所述背面与该正面相对，

在第一组掺杂剂源上选择性地沉积第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源，第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源具有不同的极性，第二组掺杂剂源被选择性地沉积在贯穿第一组掺杂剂源的第一组窗口中，第三组掺杂剂源被选择性地沉积在贯穿第一组掺杂剂源的第二组窗口中，形成的第一组掺杂剂源的厚度大于第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源的厚度；以及

进行扩散步骤，将第一组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第一组有效扩散区、将第二组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第二组有效扩散区、以及将第三组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第三组有效扩散区。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶片的正面在形成第一组掺杂剂源、第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源之前进行了织构化。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，用织构工艺对所述晶片的正面进行织构化，该工艺过程包括：

变薄所述晶片的正面和背面，以部分地去除该晶片的所述正面和背面上的受损部分；

织构化所述晶片的正面和背面，从而去除该晶片的所述正面和背面上的剩余受损部分；和

抛光所述晶片的背面，以去除该晶片背面上的织构化结构。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一组掺杂剂源、第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源通过丝网印刷进行选择性沉积。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一组掺杂剂源、第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源通过喷墨印刷进行选择性沉积。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一组掺杂剂源、第二组掺杂剂源和第三组掺杂剂源在印刷过程的单行程中进行选择性沉积。

7.一种在背面触点太阳能电池中形成有效扩散区的方法，所述方法包括：

提供要加工成太阳能电池的晶片，所述晶片的正面配置成在太阳能电池正常运行时朝向太阳；

将掺杂有第一类型掺杂剂的第一组掺杂剂源选择性沉积在所述晶片背面上，该背面与太阳能电池的所述正面相对，所述第一组掺杂剂源通过将其直接印刷在所述晶片背面来进行选择性沉积；

在所述晶片的背面上形成掺杂有不同于第一类型掺杂剂的第二类型掺杂剂的第二组掺杂剂源；和

进行扩散步骤，将所述第一组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第一组有效扩散区，和将所述第二组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第二组有效扩散区。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二组掺杂剂源通过旋涂在所述晶片的背面形成。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述晶片的正面在形成所述第一组和第二组掺杂剂源前采用织构工艺进行织构化，该工艺过程包括：

变薄所述晶片的正面和背面，以部分地除去该晶片的所述正面和背面上的受损部分；

织构化所述晶片的正面和背面，从而除去该晶片的所述正面和背面上的余下受损部分；和

抛光所述晶片的背面，以除去该晶片背面上的织构化结构。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二组掺杂剂源印刷在所述晶片的背面。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于还包括：

在进行扩散步骤之前将第三组掺杂剂源沉积在所述晶片的背面上，所述第三组掺杂剂源相对于所述第一组掺杂剂源为轻掺杂；和

进行所述扩散步骤，将所述第一组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的所述第一组有效扩散区，将所述第二组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的所述第二组有效扩散区，和将第三组掺杂剂源中的掺杂剂扩散形成太阳能电池的第三组有效扩散区。