[发明专利]一种类单晶太阳能电池的磷扩散方法

权利要求书

1.一种类单晶太阳能电池的磷扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：

⑴ 将待处理的类单晶硅片放于扩散炉中，升温至800~820℃，炉内环境为氮气气氛，氮气流量8~30 L/min；

⑵ 待温度稳定后，同时通入携磷源气体和干氧进行扩散，扩散时间为40~60 min，所述携磷源气体的流量为0.8~2 L/min，干氧的流量为0.4~2.5 L/min；使类单晶硅片的多晶区域的平均方块电阻比单晶区域的平均方块电阻高出10 Ω／□以上；

⑶ 降温出舟，完成扩散过程。

2.根据权利要求1所述的类单晶太阳能电池的磷扩散方法，其特征在于，所述步骤⑶之前还设有推进步骤，所述推进步骤为：停止通入携磷源气体源和干氧，进行5~40 min推进，炉内环境为氮气气氛，氮气流量8~30 L/min。