[发明专利]金属材料分析前处理机及其处理方法

权利要求书

1.一种金属材料分析前处理机，其特征在于：包括具有抽气接口和密封门的立筒状真空室；所述真空室的底面中部朝上延伸出接高压电源的阴极筒，所述阴极筒的顶部为待处理试样安放区域的阴极头，所述安放区域周围延伸出罩住阴极头和阴极筒的屏蔽装置，所述阴极头内部具有外接冷却流体源的冷却通道；所述真空室的顶端中部装有接地的阳极座，所述阳极座朝下延伸出与阴极头相对的阳极头，所述阳极头中具有惰性气体进气管，所述进气管的出气口对着所述阴极头的试样安放区域。

2.根据权利要求1所述的金属材料分析前处理机，其特征在于：所述真空室由上、下表面分别具有相对环槽的下法兰和上法兰以及内、外径与环槽相配的玻璃材质筒体组成，所述筒体的上、下端分别插入衬有密封圈的上、下法兰的环槽内密封固连。

3.根据权利要求2所述的金属材料分析前处理机，其特征在于：所述真空室的下法兰底面通过密封圈、绝缘垫圈与接高压电源的阴极法兰绝缘固连，所述阴极法兰的中部装有与之电连接的朝上延伸进入真空室内的阴极筒。

4.根据权利要求3所述的金属材料分析前处理机，其特征在于：所述屏蔽装置由罩住阴极头的屏蔽罩以及罩住阴极的屏蔽筒构成。

5.根据权利要求4所述的金属材料分析前处理机，其特征在于：所述真空室的上法兰中部装有接地的阳极座，所述阳极座的中心安装朝下延伸出与阴极头相对阳极头的阳极杆，所述阳极头中心的进气管从阳极杆中心一直朝上延伸至真空室外，与惰性气体源连通。

6.根据权利要求5所述的金属材料分析前处理机，其特征在于：所述阳极座外装有阳极帽。

7.根据权利要求1至6任一所述金属材料分析前处理机的处理方法，其特征在于包括以下步骤：

第一步、将试样放在阴极头的安放区域后密闭真空室；

第二步、从惰性气体进气管中输入氩气；

第三步、保持氩气输入，从抽气接口抽气；

第四步、待真空室内的真空度达到预定值时，接通高压使阳极头与阴极头之间产生等离子流，清除试样正面表层氧化层；

第五步、将试样反转，接通高压使阳极头与阴极头之间产生等离子流，清除试样反面表层氧化层；

第六步、保持输入氩气，吹去清除下来的氧化层尘埃，且通过抽气接口抽走。