[发明专利]磁性致动器

权利要求书

1.磁性致动器，具有一板(3)和一磁体弓形件，所述板绕一个第一旋转轴线(4)可旋转地被支承，所述磁体弓形件设置在所述板(3)下方，

其中，所述板(3)具有一主延伸平面，

其中，所述第一旋转轴线(4)平行于所述主延伸平面，

其中，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有至少一个导体回线(10，10a，10b)，

其中，所述磁体弓形件具有一U形的、纵向的传导磁通的轨(1)和一硬磁体(2)，该硬磁体的磁化垂直于U形开口，

其中，所述磁体弓形件和所述板(3)相互对齐，使得所述磁体弓形件的开口指向所述板(3)的主延伸平面，

其中，所述U形的、纵向的传导磁通的轨(1)具有一平行于所述第一旋转轴线(4)的主延伸方向，

其中，所述板(3)通过对所述至少一个导体回线(10，10a，10b)的通电能绕所述第一旋转轴线(4)偏转，

其中，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有两个导体回线(10a，10b)，其中，所述板(3)通过所述第一旋转轴线(4)分开地具有两个在所述主延伸平面中的面区域，一个导体回线(10a)设置在其中一个面区域中并且另一个导体回线(10b)设置在另一个面区域中，

其中，通过使两个导体回线在相反的方向上通电，在所述可旋转地被支承的板(3)上能产生一绕所述第一旋转轴线(4)的转矩。

2.根据权利要求1所述的磁性致动器，其特征在于，所述磁体弓形件具有一硬磁体(2)，其中，在所述硬磁体(2)的敞开侧上涂覆有一整面的或一结构化的磁通传导层(23)。

3.根据以上权利要求中任一项所述的磁性致动器，其特征在于，一屏蔽装置(230)通过一距离保持装置(27)固定地设置成与所述磁体弓形件的开口相对，使得向着所述磁体弓形件的敞开侧的漏磁场由此减小。

4.根据权利要求1或2所述的磁性致动器，其特征在于，所述板(3)借助扭转弹簧、曲折形弹簧、弯曲弹簧或渐进式弹簧绕所述第一旋转轴线(4)可旋转地被支承。

5.根据权利要求1或2所述的磁性致动器，其特征在于，所述板(3)通过一中心的弹簧悬挂装置(40)固定，该中心的弹簧悬挂装置允许所述板(3)在至少一个方向上倾斜。

6.具有根据权利要求1至5中任一项所述的致动器的微镜，其中，可旋转地被支承的所述板(3)在所述主延伸平面中配设有一镜反射表面或至少在所述板(3)的背对所述磁体弓形件的开口的侧上设有一镜元件或布设有镜反射材料。

7.具有由至少一个根据权利要求6所述的微镜构成的第一微镜和一第二镜的双镜系统，其中，该双镜系统是一2D扫描器，其中，所述第二镜具有一垂直于所述第一微镜的第一旋转轴线(4)的旋转轴线，其中，所述第二镜设置成与所述第一微镜相对，使得照射所述镜的激光束能在两个方向上偏转。