[发明专利]新型水溶性镀铜保护剂及其制备方法有效
申请号: | 201110404309.3 | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN103147075A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 苏振萍;李媛 | 申请(专利权)人: | 西安创联华特表面处理技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C22/68 | 分类号: | C23C22/68 |
代理公司: | 西安集思得知识产权代理有限公司 61210 | 代理人: | 张晋吉 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 水溶性 镀铜 保护 及其 制备 方法 | ||
1.新型水溶性镀铜保护剂,其特征在于:以水作溶剂,稀土盐、有机缓蚀剂、有机高分子和表面活性剂为溶质,各组分配比为:
a.稀土盐所占质量比为0.5~2%;
b.有机缓蚀剂所占质量比为20~25%;
c.有机高分子所占质量比为10~20%;
d.表面活性剂所占的质量比为15~20%;
e.余量为水;
所述稀土盐,是指两种镧系金属盐的复配;
所述有机缓蚀剂,是指氮唑类、咪唑类、芳基咪唑类、有机胺类化合物中的至少两种组分的复配;该有机胺类化合物,为RNH2、R2NH、R3N中的一种或两种、三种的等比例混合物,R分子式为CnH2n+1,其中n≥6;
所述有机高分子,是指聚乙烯蜡;
所述表面活性剂,是指烷基醚类表面活性剂;
所述水,是指工业用的去离子水。
2.根据权利要求1所述新型水溶性镀铜保护剂,其特征在于,几种有机缓蚀复配的重量配比为:剂氮唑类与咪唑类复配时配比为1∶1,氮唑类与有机胺类复配时配比为1∶2,咪唑类与有机胺类复配时配比为1∶2
3.根据权利要求1所述新型水溶性镀铜保护剂的制备方法,其特征在于,依下述步骤进行:
a.向反应釜内加入40~60%计算量的去离子水,加热至45~50℃;
b.准确称取计算量的稀土盐,加入上述去离子水,搅拌至溶解,得无色透明溶液A;
c.准确称取计算量的有机缓蚀剂,加入反应溶液,45~50℃下搅拌至溶解,得淡黄色溶液B;
d.准确称取计算量的表面活性剂,在40~45℃下加热到完全溶解,得深黄色透明溶液C;
e.将溶液C趁热倒入溶液B中,40~45℃下搅拌15min,得淡黄色乳浊液D;
f.准确称取计算量的有机高分子,加入溶液D,得淡黄色粘稠液,40~45℃下搅拌45min后,向其中加入余量去离子水定容,继续搅拌至粘稠液细腻均匀,即得产品。
4.根据权利要求1所述新型水溶性镀铜保护剂的使用方法,其特征在于,依下述步骤进行:
a.将保护剂原液水浴加热至40~45℃,使保护剂原液呈均匀粘稠流动性的溶液;
b.将去离子水加热至40~45℃后倒入加热好的保护剂原液中,搅拌至保护剂原液被稀释为浓度为10~20%的乳白色工作液;
c.将清洁的待保护工件在40~45℃保护剂工作液中浸泡90~180s;
d.将做过保护剂的工件在35~40℃去离子水中清洗2~3遍,然后控干工件盲孔中的清洗水;
e.用压缩空气吹去工件盲孔及表面的清洗水;
f.将清洗吹干后的工件在80~120℃烘箱中烘烤30~45min;
g..将烘干后的工件在室温放置2~4h,即可。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理,例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理