[发明专利]多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法，其特征是：氯硅烷液体被送入管式过滤器进行过滤，过滤后的氯硅烷液体进入多晶硅生产的后续工序，被管式过滤器拦截下来的固体杂质排入密闭式排渣罐，向排渣罐内通入适量空气并加热排渣罐，使排渣罐内的固体杂质发生化学反应生成二氧化硅粉末及氯化氢气体。

2.按照权利要求1所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法，其特征是：所述氯化氢气体被送入盐酸吸收池，循环吸收制成盐酸溶液。

3.一种多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，包括带有液体入口、液体出口及排渣口的管式过滤器（4），所述排渣口位于所述管式过滤器（4）的底部，所述排渣口与位于所述管式过滤器（4）下方的排渣罐（17）相连通，所述排渣罐（17）上设有空气入口、气体出口及固定排放口，所述固定排放口位于所述排渣罐（17）的底部，所述排渣罐（17）外设置有辅助加热系统（19）。

4.按照权利要求3所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述排渣罐（17）的气体出口与盐酸吸收池相通。

5.按照权利要求3所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述管式过滤器（4）包括设置在过滤器筒体内的至少两根集液管（6），每根所述集液管（6）上悬吊有至少两根过滤元件（5），每根所述过滤元件（5）包括一根不钻孔的中心管及围绕所述中心管的六根钻孔的流通管，所述六根流通管的外围包裹有滤布。

6.按照权利要求5所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述管式过滤器（4）与反冲洗系统相连，所述反冲洗系统包括设置在所述管式过滤器（4）顶部的第一反洗阀（10）、溢流阀（7）及排气阀（11），以及安装在每根所述集液管（6）出液管上的第二反洗阀（13），所述第二反洗阀（13）与所述第一反洗阀（10）并联后与反清洗气体入口相通。

7.按照权利要求5所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述集液管（6）出液管与所述管式过滤器（4）之间设置有差压变送器（12）。

8.按照权利要求3所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述管式过滤器（4）上设置有安全气体置换阀（15），所述安全气体置换阀（15）与安全气体置换系统相连。

9.按照权利要求3所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述管式过滤器（4）设置有两台，并联连接。

10.按照权利要求3所述的多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置，其特征是：所述管式过滤器（4）与全自动控制系统相连。