[发明专利]一种获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法

权利要求书

1.一种获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将磁悬浮分子泵竖直放置，通过磁悬浮分子泵控制器控制磁悬浮分子泵的转子静态悬浮，通过调整所述转子在第一径向磁轴承处的径向悬浮位置，保证第一径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流均相等，获得所述转子的第一径向悬浮中心；

(2)再次调整所述转子在第二径向磁轴承处的径向悬浮位置，保证第二径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流均相等，获取所述转子的第二径向悬浮中心；

(3)将所述磁悬浮分子泵水平放置，调整所述转子的轴向悬浮位置，保证第一轴向磁轴承和第二轴向磁轴承线圈中的电流相等，获取所述转子的轴向悬浮中心；

(4)将所述第一径向悬浮中心、所述第二径向悬浮中心和所述轴向悬浮中心存储在存储介质中，作为所述转子的最终悬浮中心；

(5)当所述磁悬浮分子泵开始工作时，所述磁悬浮分子泵控制器控制所述转子悬浮在所述最终悬浮中心，保证系统稳定工作。

2.根据权利要求1所述的获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，其特征在于：在所述步骤(1)或(2)中，径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流相等是指所述径向磁轴承相对方向两个磁极线圈中的电流幅值之差与径向磁轴承偏置电流幅值之比小于或者等于5％。

3.根据权利要求1或2所述的获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，其特征在于：所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值相等是指所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值之差与轴向磁轴承偏置电流幅值之比小于或者等于5％。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，其特征在于：所述步骤(1)中，通过调整所述转子在第一径向磁轴承处的径向悬浮位置，保证第一径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流均相等的具体方法如下：首先，磁悬浮分子泵控制器控制转子静态悬浮，测量第一径向磁轴承X向相对方向的两个磁极线圈电流；然后比对所述两个磁极线圈电流幅值是否相等，如相等，则以当前转子在第一径向磁轴承X向处的悬浮位置作为所述转子在第一径向磁轴承X向的悬浮中心；否则，所述磁悬浮分子泵控制器继续调整所述转子的悬浮位置，然后重复上述步骤，直到第一径向磁轴承X向相对方向的两个磁极线圈电流相等为止；用与获取所述转子在第一径向磁轴承X向的悬浮中心相同的方法获得第一径向磁轴承Y向的悬浮中心，从而得到所述转子在第一径向磁轴承处的悬浮中心；

5.根据权利要求1-4中任一项所述的获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，其特征在于：采用二分法调整所述转子的悬浮位置，直到第一径向磁轴承X向相对方向的两个磁极线圈电流相等。