[发明专利]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，在收纳基板的收纳盒和处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具备：

第一传送机，该第一传送机配置在所述收纳盒侧，具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列放置多张基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，

第二传送机，该第二传送机在所述处理装置侧与所述第一传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正交的方向上排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述多张基板单独地输送，

移动单元，该移动单元具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部，在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板，

升降单元，该升降单元使所述放置部和所述第二传送机相对地升降，和

检测所述第二传送机上的所述基板的尺寸的传感器。

2.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述移动单元根据所述传感器所检测到的所述基板的尺寸，在与所述输送方向正交的方向上移动所述基板。

3.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，还具备：

第三传送机，该第三传送机与所述第一传送机连续且配置在所述收纳盒的下部，放置被收纳于所述收纳盒的所述基板并在所述输送方向进行输送，

升降装置，该升降装置使所述收纳盒和所述第三传送机相对地升降；

所述收纳盒在上下方向具有多个收纳所述基板的狭槽，

各狭槽能够在与所述输送方向正交的方向收纳所述多张基板，

所述第三传送机具有能够在与所述输送方向正交的方向排列放置所述多张基板的宽度，在所述输送方向同时输送所述多张基板。

4.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，所述第二传送机具备根据所述基板的尺寸有选择地被驱动的多个传送机单元。

5.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，所述移动单元移动所述基板并且调整所述基板的朝向。

6.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，所述第一传送机具有能够在所述输送方向排列放置多张基板的长度。

7.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，所述第一及第二传送机由多个辊式传送机单元构成。

8.如权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于，所述第三传送机由多个辊式传送机单元构成。

9.如权利要求1或2所述的基板输送系统，其特征在于，所述收纳盒和所述处理装置在所述输送方向离开地配置。

10.如权利要求2所述的基板输送系统，其特征在于，所述移动单元使从所述处理装置被一张一张地搬出到所述第二传送机上的所述基板依次在与所述输送方向正交的方向上移动，多张所述基板在所述第二传送机上形成为在与所述输送方向正交的方向上排列放置的状态。

11.如权利要求2所述的基板输送系统，其特征在于，所述移动单元使放置在所述第二传送机上的所述多张基板依次移动到规定位置，所述第二传送机将通过所述移动单元移动到所述规定位置的所述基板一张一张地依次朝向所述处理装置输送。