[发明专利]一种用于微器件真空度测量的标定盒及使用方法

权利要求书

1.一种用于微器件真空度测量的标定盒，其内设有用于放置微器件的微器件管壳，所述微器件管壳上设有真空传感器，其特征在于：该标定盒包括盒体和上盖，所述上盖上设有用于测量标定盒内真空度的真空测量规，所述盒体上设有与外部真空泵连接的真空抽气管、用于调节标定盒内真空度的真空调压针阀，以及与真空传感器连接的用于测量所述真空传感器电压的测量导线，所述测量导线与外接恒流电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒，其特征在于：所述真空抽气管上设有抽气阀。

3.根据权利要求1所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒，其特征在于：所述真空测量规为电容规或电阻规。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒，其特征在于：所述上盖上设有把手。

5.一种如权利要求1至4任一项所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：将所述微器件管壳真空封装在所述标定盒内；

步骤2：建立真空标定曲线；

步骤3：测量所述标定盒内真空度。

6.根据权利要求5所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒的使用方法，其特征在于：所述步骤1具体为：

步骤1.1：将所述微器件管壳放置在所述盒体内，将所述真空传感器的引线连接在所述测量导线上；

步骤1.2：将所述真空测量规连接在外部的真空测量仪上；

步骤1.3：将所述上盖加盖在所述盒体上，密闭锁紧；

步骤1.4：将真空抽气管连接在高真空泵上，关闭真空调压针阀，并打开真空抽气阀；

步骤1.5：启动真空泵，当真空测量仪显示真空度高于1*10-2Pa时，关闭真空抽气阀。

7.根据权利要求5所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒的使用方法，其特征在于：所述步骤2具体为：

步骤2.1：将所述测量导线与外接恒流电源连接；

步骤2.2：开启外接恒流电源，施加小驱动电流，所述驱动电流为3mA-10mA；

步骤2.3：记录起始状态下的实际真空度和相对应的电压测量值；

步骤2.4：轻微旋动真空调压针阀，使所述盒体内真空度逐渐下降，对应的电压测量值跟随下降，逐一记录所述盒体内的真空度和其对应的电压测量值，直至真空度下降到用户所需要标定的真空度为止，断开所述测量导线与外接恒流电源的连接；

步骤2.5：作X-Y坐标图，建立真空度与对应的电压测量值趋势图，作为该微器件管壳的真空标定曲线。

8.根据权利要求5所述的一种用于微器件真空度测量的标定盒的使用方法，其特征在于：所述步骤3具体为：

步骤3.1：先将所述测量导线连接在恒流电源和四位半以上的电压表上；

步骤3.2：开启外接恒流电源，施加与建立所述真空标定曲线时的相同的小驱动电流，测量所述真空传感器的端电压值；

步骤3.3：根据所述真空标定曲线，将电压测量值转换为实际真空度测量值。