[发明专利]面发射激光器

权利要求书

1.一种被配置为以波长λ进行振荡的面发射激光器，包括：

基板；

多层结构，设置在基板上，并且包含下部反射镜、活性层和上部反射镜；以及

第一台阶状结构，被设置在上部反射镜上，并且包含在发射区域的中心部分中限定的第一区域中延伸的部分和在发射区域内的第一区域的外侧限定的第二区域中延伸的部分，这些部分具有不同的厚度，

其中，第一台阶状结构包含第一结构，所述第一结构由具有比环境介质的折射率n₀大的折射率n₁的第一材料制成，

其中，使第一结构的在第一区域和第二区域中的实际厚度分别为d₁₁和d₁₂，则以下的关系成立：

|n₁(d₁₁-d₁₂)|＝λ/4×(2M-1)，

这里，M是整数，以及

其中，关于从在第一台阶状结构之上限定的并且与基板平行地延伸的平面到上部反射镜与第一台阶状结构之间的界面的光路长度，第一区域中的光路长度L₁和第二区域中的光路长度L₂对于使|L₂-L₁-Nλ|最小化的整数N满足以下表达式：

|L₂-L₁-Nλ|＜(λ/4)×(1-n₀/n₁)。

2.根据权利要求1的面发射激光器，其中，|L₂-L₁-Nλ|＝0。

3.根据权利要求1的面发射激光器，

其中，第一台阶状结构还包含第二结构，所述第二结构由具有比折射率n₀大并且与折射率n₁不同的折射率n₂的第二材料制成，

其中，第二结构被设置在第一结构上，以及

其中，第二结构在第一区域中具有实际厚度d₂₁并在第二区域中具有实际厚度d₂₂，实际厚度d₂₁和d₂₂彼此不同。

4.根据权利要求3的面发射激光器，其中，(d₁₁-d₁₂)×(d₂₁-d₂₂)＞0并且|N|＝1。

5.根据权利要求3的面发射激光器，其中，(d₁₁-d₁₂)×(d₂₁-d₂₂)＜0并且N＝0。

6.一种图像形成设备，包括：

面发射激光器阵列，包含多个根据权利要求1的面发射激光器；

感光部件，被配置为通过从所述面发射激光器阵列接收光而形成静电潜像；

带电器件，被配置为使所述感光部件带电；以及

显影器件，被配置为将静电潜像显影。