[发明专利]阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法

权利要求书

1.一种阻抗匹配器，包括阻抗传感器、与射频电源和所述阻抗传感器连接的阻抗匹配网络、与所述阻抗传感器连接的运算控制单元和与所述运算控制单元以及所述阻抗匹配网络连接的执行单元，其特征在于，所述阻抗传感器包括：与所述阻抗匹配网络连接的采样模块、与所述采样模块连接的滤波模块和与所述滤波模块以及所述运算控制单元连接的信号处理模块；

所述采样模块，用于对所述阻抗匹配网络的输入端进行测量，得出阻抗测量信号；

所述滤波模块，用于对所述阻抗测量信号进行滤波处理，以滤除所述阻抗测量信号中的特定频率的干扰信号；

所述信号处理模块，用于对滤波处理后的阻抗测量信号进行运算处理，生成所述阻抗匹配网络的输入阻抗相关信号；

所述运算控制单元，用于根据所述射频电源的输出阻抗对所述输入阻抗相关信号进行运算处理，生成阻抗调节数据；

所述执行单元，用于根据所述阻抗调节数据对所述阻抗匹配网络进行调节，以使调节后的所述阻抗匹配网络的输入阻抗和所述射频电源的输出阻抗共轭匹配。

2.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述射频电源包括低频电源，所述滤波模块包括低通滤波电路、高频带通滤波电路或者高频带阻滤波电路，所述特定频率的干扰信号包括高频干扰信号。

3.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述滤波模块包括低通滤波电路，所述低通滤波电路包括第一电感和第一电容；

所述第一电感的输入端连接至所述采样模块，所述第一电感的输出端连接至所述第一电容的输入端和所述信号处理模块，第一电容的输入端连接至所述信号处理模块，所述第一电容的输出端接地。

4.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述滤波模块包括高频带通滤波电路，所述高频带通滤波电路包括第二电容、第二电感、第三电容、第三电感、第四电容和第四电感；

所述第二电容的输入端连接至所述采样模块，所述第二电容的输出端连接至所述第二电感的输入端，所述第二电感的输出端、所述第三电容的输入端、所述第三电感的输入端和所述第四电容的输入端相互连接，所述第三电容的输出端接地，所述第三电感的输出端接地，所述第四电容的输出端连接至所述第四电感的输入端，所述第四电感的输出端连接至所述信号处理模块。

5.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述滤波模块包括所述高频带阻滤波电路，所述高频带阻电路包括第五电容、第五电感、第六电容、第六电感、第七电容和第七电感；

所述第五电感和所述第五电容并联连接，所述第七电感和所述第七电容并联连接，所述第五电感的输入端和所述第五电容的输入端连接至所述采样模块，所述第五电感的输出端、所述第五电容的输出端、所述第六电容的输入端、所述第七电感的输入端和所述第七电容的输入端相互连接，所述第六电容的输出端连接至所述第六电感的输入端，所述第六电感的输出端接地，所述第七电容的输出端和所述第七电感的输出端连接至所述信号处理模块。

6.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述射频电源包括高频电源，所述滤波模块包括高通滤波电路、低频带通滤波电路或者低频带阻滤波电路，所述特定频率的干扰信号包括低频干扰信号。

7.根据权利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述滤波模块包括高通滤波电路，所述高通滤波电路包括第八电容和第八电感；

所述第八电容的输入端连接至所述采样模块，所述第八电容的输出端连接至所述第八电感的输入端和所述信号处理模块，第八电感的输入端连接至所述信号处理模块，所述第八电感的输出端接地。

8.根据权利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述滤波模块包括低频带通滤波电路，所述低频带通滤波电路包括第九电容、第九电感、第十电容、第十电感、第十一电容和第十一电感；

所述第九电容的输入端连接至所述采样模块，所述第九电容的输出端连接至所述第九电感的输入端，所述第九电感的输出端、所述第十电容的输入端、所述第十电感的输入端和所述第十一电容的输入端相互连接，所述第十电容的输出端接地，所述第十电感的输出端接地，所述第十一电容的输出端连接至所述第十一电感的输入端，所述第十一电感的输出端连接至所述信号处理模块。