[发明专利]气体系统无效
申请号: | 201110409679.6 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN103074675A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 叶芷飞;梁秉文 | 申请(专利权)人: | 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 |
主分类号: | C30B25/16 | 分类号: | C30B25/16;C30B25/14;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 系统 | ||
1.一种气体系统,其特征在于,包括:
第一气体管路,设置有第一气体控制单元,所述第一气体控制单元用于控制所述第一气体管路上的气体流量或气体压力;
第二气体管路,设置有第二气体控制单元,所述第二气体控制单元用于控制所述第二气体管路上的气体压力;
气体压力平衡控制单元,跨接于所述第一气体管路和第二气体管路之间,用于采集所述第一气体控制单元和第二气体控制单元的信号,并且根据所述信号获得压力控制信号,所述压力控制信号作为第二气体控制单元的输入信号。
2.如权利要求1所述的气体系统,其特征在于,所述第一气体控制单元为质量流量控制器或压力控制器。
3.如权利要求1所述的气体系统,其特征在于,所述第二气体控制单元包括串联的质量流量控制器和压力控制器,所述质量流量控制器位于所述压力控制器的上游,所述压力控制信号作为所述压力控制器的输入信号。
4.如权利要求3所述的气体系统,其特征在于,所述第二气体控制单元还包括:分压单元,所述分压单元与所述压力控制器并联于所述第二气体管路上,所述分压单元用于在所述第二气体管路的压力超过所述压力控制器的调压范围时,将第二气体管路的部分气体分流。
5.如权利要求3所述的气体系统,其特征在于,所述第二气体控制单元还包括:流量范围设定单元,用于基于所述压力控制信号,调节所述第二气体管路上的质量流量控制器的量程,使得所述量程与所述压力控制器的调压范围一致。
6.如权利要求1所述的气体系统,其特征在于,所述第二气体控制单元为质量流量控制器。
7.如权利要求1所述的气体系统,其特征在于,所述气体系统应用于化学气相沉积设备。
8.如权利要求1所述的气体系统,其特征在于,所述气体压力平衡控制单元为差压式薄膜规。
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