[发明专利]一种太阳能电池的钝化及制作方法无效
| 申请号： | 201110410718.4 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103165730A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王志超 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 钝化 制作方法 | ||
1.一种太阳能电池的钝化方法，其特征在于，包括：
将除去磷硅玻璃的太阳能电池放入氢气钝化设备中，在钝化温度为400～500摄氏度的条件下，以每分钟6～10升的流量对着太阳能电池通入氢气，钝化0.5～2小时。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的钝化方法，其特征在于：所述钝化温度为425～475摄氏度，所述氢气流量为每分钟7～9升，所述钝化时间为0.8～1.5小时。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的钝化方法，其特征在于：所述钝化温度为450摄氏度。
4.根据权利要求2所述的太阳能电池的钝化方法，其特征在于：所述氢气流量为每分钟8升。
5.根据权利要求2所述的太阳能电池的钝化方法，其特征在于：所述钝化时间为1小时。
6.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：
在太阳能电池除去磷硅玻璃后，将除去磷硅玻璃的放入氢气钝化设备中，在钝化温度为400～500摄氏度的条件下，以每分钟6～10升的流量对着太阳能电池通入氢气，钝化0.5～2小时；
将氢气钝化后的太阳能电池进行等离子体增强化学气相沉积的步骤。
7.根据权利要求5所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述钝化温度为425～475摄氏度，所述氢气流量为每分钟7～9升，所述钝化时间为0.8～1.5小时。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述钝化温度为450摄氏度。
9.根据权利要求7所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述氢气流量为每分钟8升。
10.根据权利要求7所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述钝化时间为1小时。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
