[发明专利]CVD工艺的尾气净化装置

权利要求书

1.一种CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，具备：

高温反应桶（100），通入CVD工艺的尾气，使所述尾气与空气中的氧气发生氧化反应；

冷却吸收塔（200），通入从所述高温反应桶排出的气体，用通入的冷却过滤液冷却通入的气体、过滤颗粒；

净化吸附塔（300），利用通入的冷却过滤液和空心球对从所述冷却吸收塔（200）排出的气体进行净化、吸附颗粒；

蓄液槽（400），积存提供给所述冷却吸收塔（200）和净化吸附塔（300）的冷却过滤液；以及

泵（500），将所述蓄液槽（400）中的所述冷却过滤液抽至所述冷却吸收塔（200）和所述净化吸附塔（300）。

2.如权利要求1所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述空心球是多面体空心球。

3.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述冷却吸收塔（200）具备多个喷洒冷却过滤液的喷嘴，

所述喷嘴在高度方向上构成为多级的冷却过滤液帘。

4.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述冷却过滤液为水或碱性液体。

5.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

在所述净化吸附塔（300）中填充满所述多面体空心球。

6.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述高温反应桶（100）的反应温度在800～1000摄氏度。

7.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述多面体空心球由多个半扇形叶片组成。

8.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述半扇形叶片相互间错开排列。

9.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

利用被所述冷却过滤液润湿的多面体空心球净化、吸附颗粒。

10.如权利要求2所述的CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，

所述高温反应桶（100）中设置多条加热丝。