[发明专利]用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置及光刻设备

权利要求书

1.一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置，包括：

主支架、Y方向支架、Y方向刀口驱动装置、X方向支架、X方向刀口驱动装置，所述X方向刀口驱动装置设置在所述X方向支架上，所述X方向支架设置在所述主支架上，所述Y方向刀口驱动装置设置在所述Y方向支架上；其特征在于： 还包括补偿单元和支撑簧片，所述Y方向支架的底部通过所述补偿单元设置在所述主支架上，所述Y方向支架的侧壁通过所述支撑簧片与所述主支架连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述Y方向刀口驱动装置包括至少一气浮滑块、至少一沿Y方向平行气浮导轨；所述X方向刀口驱动装置包括至少一气浮滑块、至少一沿X方向平行气浮导轨。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述X方向刀口驱动装置包括至少一X方向驱动杆和X方向驱动电机，所述X方向驱动电机包括沿X方向平行的定子和沿X方向驱动杆运动的动子；所述Y方向刀口驱动装置包括至少一Y方向驱动杆和Y方向驱动电机，所述Y方向驱动电机包括沿Y方向平行的定子和沿Y方向驱动杆运动的动子。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括沿X方向平行的光栅尺以及沿Y方向平行的光栅尺。

5.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述沿X方向平行的光栅尺位于所述X方向支架上，所述沿Y方向平行的光栅尺位于所述主支架上。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑弹簧有两组。

7.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述支撑弹簧的柔性行程为+/-1mm。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述补偿单元是一音圈电机位置补偿单元。

9.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述音圈电机位置补偿单元包括永磁铁、线圈、磁铁、定子基座和动子基座。

10.一种光刻设备，包括：

光源及照明模块，用于提供一光束使掩模图形照射到基底上；

运动台，用于提供基底的移动；

        其特征在于，所述光源及照明模块包括一如权利要求1至10任一项所述的装置。