[发明专利]蒸镀掩膜板对位系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于有机蒸镀工艺中的蒸镀掩膜板对位系统。

背景技术

过去，用作显示设备的主要是阴极射线管（CRT）设备，近几年，诸如等离子显示面板（PDP）设备、液晶显示（LCD）设备和有机电致发光显示（Organic Light Emitting Display，以下简称OLED）设备的平板显示设备得到了广泛研究和使用。

在这些平板显示设备中，由于OLED设备与液晶显示（LCD）设备不同，为自发光的且不需要额外光源，所以OLED设备具有厚度薄，重量轻，响应速度快，视角广、色彩饱和度高等优点并引起了人们广泛关注，越来越多的OLED被应用于显示和照明领域。

OLED设备可以分为无源矩阵型OLED(PMOLED)和有源矩阵型OLED(AMOLED)，无论是那种方式，都需要使用蒸镀掩膜板(shadow mask)。伴随着超高分辨率的屏幕出现，蒸镀掩膜板对位系统精度就要求更高，对位系统的精度直接影响到屏幕质量，提高对位系统的速度可以缩短产品的出货时间。

现有的蒸镀掩膜板对位系统中，都有两个图形：基板上一个图形，掩膜板上一个图形。将二者完全中心吻合就证明对位完成，但是这样会出现一个问题，新的掩膜板到货后需要进行校验，这种对位方式必然导致检验时需要蒸镀好多片基板，进行对位后蒸镀，取出来校正，再更正坐标，再蒸镀，往复好多次，这样既浪费时间，又浪费基板和有机材料。

发明内容

本发明的目的在于提供一种对位方便的蒸镀掩膜板对位系统。

为实现前述目的，本发明采用如下技术方案：一种蒸镀掩膜板对位系统，其包括设置在掩膜板的四个边角上的第一对位标识、设置在基板上的四个用以分别和第一对位标识进行相对位的第二对位标识、以及设置在掩膜板正上方的用以判断第一对位标识和第二对位标识是否对齐吻合的四个摄像头，该摄像头分别具有观察到第一对位标识和第二对位标识的可视范围。

作为本发明的进一步改进，所述第一对位标识上和第二对位标识具有与可视范围相交的对位标识延长线。

作为本发明的进一步改进，所述对位标识延长线与可视范围相交形成至少两个相交点。

作为本发明的进一步改进，位于掩膜板对角线上的两个可视范围内的对位标识延长线上标有刻度。

作为本发明的进一步改进，相邻的两根对位标识延长线相位于同一条直线上。

作为本发明的进一步改进，所述第一对位标识和第二对位标识完全相同。

作为本发明的进一步改进，所述第一对位标识和第二对位标识均为“十”字形。

本发明通过在掩膜板的四个边角上设置对位标识，对应的基板上也设置有四个对位标识，只要让掩膜板上的四个对位标识和基板上四个的对位标识完全吻合，就证明对位完成，如果出现偏差也可以直接进行补偿，不需要打开腔室进行测量重新定位，这样可以节省大量的时间，并且可以节省基板和有机材料。

附图说明

图1为现有蒸镀掩膜板对位系统中掩膜板及其对位标识的示意图。

图2为本发明蒸镀掩膜板对位系统中掩膜板及其对位标识的示意图。

图3为本发明蒸镀掩膜板对位系统中的掩膜板和基板发生角度偏差时的示意图。

图4为本发明蒸镀掩膜板对位系统中的掩膜板和基板发生位移偏差时的示意图。

具体实施方式

请参见图1所示的一种现有的蒸镀掩膜板对位系统中的掩膜板，该掩膜板的对位系统为设置在掩膜板1的两对角上的一对“十”字形对位标识11，在使用新的蒸镀掩膜板时，都要对该掩膜板和基板进行初调，确定各坐标的值，这个过程需要几片到十几片的薄膜晶体管(Thin FilmTransistor, 以下简称TFT）基板进行对位，并且每次初调都必须蒸镀有机材料到TFT基板，然后将基板取出放到显微镜下进行测试，既浪费时间也浪费材料。