[发明专利]一种温度可调控四探针方块电阻及电阻率的测试方法

权利要求书

1.一种温度可调控四探针方块电阻及电阻率的测试方法，可用于测量薄膜的方块电阻及电阻率，其特征在于，所述测试方法包括以下步骤：

步骤一：将温度可调控四探针方块电阻测试系统的线路连接完毕，主机接上电源，并预热5至10分钟；

步骤二：预估待测样品的电阻或电阻率，根据需要在主机面板上选择K1至K4中合适的电流档位，并选择K5至“R_□”档以测量样品的方块电阻或者至“ρ”档以测量样品的电阻率；

步骤三：将待测样品放置在四探针测试平台基座的金属垫片上，将热电偶与温度测试仪连接好，并使热电偶与待测样品表面接触，然后压下四探针；

步骤四：启动电炉丝加热装置，调节加热速率，使用热电偶与温度测试仪测量待测样品的温度；

步骤五：查询参数C，然后调节主机面板上的电流粗调电位器W1及电流细调电位器W2以输入C的值至主机中，C的当前值将显示在主机面板上的显示器中；

步骤六：调节完毕后，当温度变化时，主机面板的显示器中将显示每一个温度点所对应的电阻率或者方块电阻值，继续查看温度测试仪，当温度达到要求时，记录下显示器中的数据，即为样品在该温度下的电阻率或者方块电阻。

2.根据权利要求1所述的一种温度可调控四探针方块电阻及电阻率的测试方法，所述的温度可调控四探针方块电阻测试系统，包括电压可调电源、SDY-4四探针测试主机、万用电表V、万用电表I以及四探针测试平台，万用电表V的两引脚分别与SDY-4四探针测试主机探头的四探针2与四探针3连接，四探针1、四探针2、四探针3及四探针4均与四探针测试平台连接，其特征在于，电压可调电源的正极分别MC1403精密低压基准电源的引脚1与OP07双极型运算放大器的引脚7连接，MC1403精密低压基准电源的引脚3接地，引脚2通过电阻R1与OP07双极型运算放大器的引脚3连接，OP07双极型运算放大器的引脚4与电压可调电源的负极连接，引脚6通过万用表I与四探针4连接，引脚2与四探针1连接，同时通过电阻R2接地。

3.根据权利要求2所述的一种温度可调控四探针方块电阻及电阻率的测试方法，所述的四探针测试平台包括基座，其特征在于，基座内的上端设有电炉丝加热装置，基座表面设有金属垫片，样品上设有SDY-4四探针测试主机探头的四探针1、四探针2、四探针3及四探针4，样品表面上设有热电偶，热电偶与温度测量仪连接。