[发明专利]一种全球面折反式光刻投影物镜

权利要求书

1.一种全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于：包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑，所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3，第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm～35mm；上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为：耦合镜组G1、第二镜片L2、孔径光阑、第三镜片L3以及会聚透镜组G3，且所述各部件的中心在同一直线上；

所述第二镜片L2为弯月负透镜，其厚度范围为9～15mm；前表面为凸面，其曲率半径的取值范围为60～85mm；后表面为凹面，其曲率半径的取值范围为55～80mm；前表面中心区域为镀有抗反膜AR的透射面，外环边缘区域为镀有高反膜HR的反射面，且该中心区域为直径等于φ₂的圆，其中9mm＜φ₂＜23mm；后表面镀有抗反膜AR；

所述第三镜片L3的前表面是平面，后表面的中心区域为镀有高反膜HR的凸面反射面，且该凸面反射面的曲率半径的取值范围为12mm～25mm，后表面的外环边缘区域为镀有抗反膜AR的平面透射面；该后表面中心区域为直径等于φ₃的圆，其中7mm＜φ₃＜15mm。

2.根据权利要求1所述全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于，所述φ₂等于8.394mm，所述φ₃等于8.18mm。

3.根据权利要求1所述全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于，所述第二镜片L2前表面曲率半径为76.380mm，后表面曲率半径为62.301mm；所述第三镜片L3凸面反射面的曲率半径为16.52mm。

4.根据权利要求1所述全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于，所述耦合镜组G1由第一镜片L1构成，所述第一镜片L1为弯月正透镜，其前表面为曲率半径等于66mm的凸面，其后表面为曲率半径等于101.1mm的凹面。

5.根据权利要求1所述全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于，所述会聚透镜组G3包括第四镜片L4、第五镜片L5、第六镜片L6以及第七镜片L7；会聚透镜组G3中各镜片沿光束入射方向的顺序关系为：第四镜片L4、第五镜片L5、第六镜片L6以及第七镜片L7，其中第四镜片L4、第六镜片L6和第七镜片L7为弯月正透镜，第五镜片L5为一平凹透镜；所述会聚透镜组G3用于将折反镜组G2的出射光束聚焦到像面上。

6.根据权利要求5或6所述全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于，所述各镜片的材料为熔石英。