[发明专利]一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法有效
| 申请号： | 201110417933.7 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102527676A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 孙良欣;徐国良;郭育林 | 申请（专利权）人： | 青岛吉阳新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市即墨市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 腐蚀 浆料 清洗 工艺 方法 | ||
1.一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)碱溶液鼓泡：利用鼓泡加速掩膜浆料的脱离、溶解，去除大部分的掩膜浆料；
(2)纯水喷淋：利用喷淋的方式快速去除硅片表面残留化学品；
(3)碱溶液鼓泡：利用鼓泡加速掩膜浆料的脱离、溶解，去除残留的少量掩膜浆料；
(4)纯水喷淋：利用喷淋的方式快速去除硅片表面残留化学品；
(5)超声波清洗：利用酒精溶液超声，清洗掉附着于硅片表面的有机物；
(6)纯水喷淋：利用喷淋的方式快速洗去硅片表面上的化学品。
2.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(1)中所述的碱溶液鼓泡中添加了一种醚类物质为丙二醇甲醚，乙二醇乙醚或二丙二醇二甲醚；
碱溶液为氢氧化钾、氢氧化钠或氨水；浓度为1-5％，
醚溶液为丙二醇甲醚，乙二醇乙醚或二丙二醇二甲醚；浓度为5-10％，时间为10-90秒。
3.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(2)中所述的喷淋时间为60-150秒。
4.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(3)中所述的碱溶液鼓泡中添加了一种醚类物质为丙二醇甲醚，乙二醇乙醚或二丙二醇二甲醚，碱溶液浓度为1-5％，醚溶液浓度为5-10％，清洗时间为10-90秒。
5.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(4)中所述的喷淋时间为60-150秒。
6.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(5)中所述的酒精浓度为10-50％，超声波频率为40kHz，溶液温度为40-65摄氏度，清洗时间为300-500秒。
7.根据权利要求1所述的一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，其特征是步骤(6)中所述的喷淋时间为60-150秒。
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