[发明专利]石墨舟冷却卸片推车

说明书

技术领域

本发明涉及一种能有效节省车间空间的石墨舟冷却卸片推车，尤其是能将冷却与卸片同时完成。

背景技术

目前，公知的PE卸片推车只是起到一个简单的运输流转车的作用，它的作用是将从PECVD炉管中镀膜后的硅片放于卸片台，推到独立冷却系统中进行冷却。冷却之后再将推车送至卸片台处进行卸片工作，从冷却到卸片，需要两个装置，即硅片冷却系统和卸片台，这两种装置在车间占用了很大的空间，而且从卸片台到冷却装置涉及到搬运及流转的动作及时间上的浪费。

发明内容

为了克服现有的卸片台存在的空间动作及时间浪费的不足，本发明推车提供一种石墨舟冷却卸片推车，该石墨舟冷却卸片推车不仅能有效的完成卸片的任务，而且能同时达到冷却的目的。

本发明解决其技术问题提供石墨舟冷却卸片推车，本石墨舟冷却卸片推车的卸片台有一个总体钢质支架，通过一个固定支架将石墨舟支撑板连接为一个整体，在石墨舟支撑板下固定冷却装置，在推车的最顶端安装有花篮支架用于卸片花篮的摆放，并且可以左右移动，以保证插片工作的方便。

当PECVD程序运行完成后，将石墨舟从炉内取出，直接放于石墨舟支撑板上，打开风冷装置对石墨舟和硅片进行冷却，同时插片工可对石墨舟进行取片。

本发明的优点是结构简单，操作方便，可以在卸片的同时，对硅片进行冷却，减少流转时间，并能有效的节省空间。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本发明以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定，如图其中：

图1为本发明的结构主视示意图；

图2为本发明的结构侧视示意图；

图3为本发明的石墨舟支撑板示意图。

1.花篮支架，2.石墨舟支撑板，3.冷却装置，4.固定支架，5.总体钢质支架。

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

具体实施方式

显然，本领域技术人员基于本发明的宗旨所做的许多修改和变化属于本发明的保护范围。

实施例1：如图1、图2、图3所示，本石墨舟冷却卸片推车的卸片台有一个总体钢质支架5，通过一个固定支架4将石墨舟支撑板2连接为一个整体，在石墨舟支撑板下固定有四个冷却装置3在推车的最顶端安装有花篮支架1用于卸片花篮的摆放，并且可以左右移动，以保证插片工作的方便。

一种冷却卸片推车，由总体支撑支架，石墨舟支撑板，花篮支架，冷却装置及固定支撑组成，安装有冷却装置，将高温石墨舟从炉管中取出后，放于卸片台上，可以满足冷却石墨舟及硅片的目的，同时也能起到流转车及卸片台得多重作用。

所述的推车安装有花篮支架。

所述的推车安装有冷却装置。

如上所述，对本发明的实施例进行了详细地说明，但是只要实质上没有脱离本发明的发明点及效果可以有很多的变形，这对本领域的技术人员来说是显而易见的。因此，这样的变形例也全部包含在本发明的保护范围之内。