[发明专利]一种高精度平面度测量桥板装置

权利要求书

1.一种高精度平面度测量桥板装置，该装置包括合像仪安装架(1)、磁性板系统(2)、测量棒装置(3)、移动装置(4)和安装底板(5)，其特征在于：

所述合像仪安装架(1)由直角架(6)、连接螺钉(7)和调节螺钉(8)组成，连接螺钉(7)将直角架(6)与桥板(19)连接，合像仪安装在二个直角架(6)中间，通过调节螺钉(8)的微量调节来实现合像仪的零位调整；

所述磁性板系统(2)由磁铁(9)、磁性板底板(10)、调节板(11)、销轴(12)和框架(13)组成，其中，磁铁(9)安装在调节板(11)底部，底板(10)与调节板(11)焊接；调节板(11)与框架(13)通过销轴(12)连接，销轴(12)与框架(13)中的孔采用动配合，框架(13)与桥板(19)的配合采用静配合；

所述测量棒装置(3)由调节螺钉(14)、测量棒支架(15)、底板(16)、测量棒(17)和锁紧螺钉(18)组成，其中，三个调节螺钉用于调节测量棒支架(15)与气浮平台的接触状态，另外三个调节螺钉将测量棒支架(15)和底板(16)连接；

所述移动装置(4)由桥板(19)、刹车块(20)、固定螺钉(21)、园螺母(22)、防脱落螺母(23)组成；移动装置(4)的移动是通过旋转园螺母(22)将刹车块(20)提升一个距离，从而把测量棒装置(3)移动到选定的位置，然后再通过旋转园螺母(22)把测量棒装置(3)锁定；

所述安装底板(5)由滚珠导轨(24)、滑块(25)、内六角螺钉(26)组成，滚珠导轨(24)通过内六角螺钉(26)与桥板(19)连接，移动装置(4)和测量棒装置(3)通过螺钉安装在滑块(25)上。

2.根据权利要求1所述的高精度平面度测量桥板装置，其特征在于：高精度平面度测量桥板装置测量长度可调节范围：200～500mm，高精度平面度测量桥板装置的平行度为0.003mm。

3.根据权利要求1所述的高精度平面度测量桥板装置，其特征在于：桥板(19)平面度为0.002mm，平行度为0.005mm。

4.根据权利要求1所述的高精度平面度测量桥板装置，其特征在于：直角架(6)选用1Cr18Ni9Ti含钛不锈钢进行加工制作。

5.根据权利要求1所述的高精度平面度测量桥板装置，其特征在于：合像仪在微量调节过程中调节板(11)在销轴(12)中微量转动，当合像仪的零位调整完毕后磁铁(9)就将合像仪吸住。

6.根据权利要求1所述的高精度平面度测量桥板装置，其特征在于：测量棒(17)与测量棒支架(15)配合采用动配合，配合间隙为0.005mm。