[发明专利]一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置

权利要求书

1.一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，包括机体和加热炉体，所述加热炉体设置在机体内部，其特征在于：所述加热炉体外部设置有分段温控系统，所述分段温控系统外部设置有保温层；所述保温层中间设置有分隔区，将保温层分为上下两段；所述加热炉体上端设有基片吊篮，所述加热炉体下端设有原料反应平台，所述炉体上下端分别连接有独立的上、下端升降系统；所述加热炉体上下端设置有密封水冷法兰，所述密封水冷法兰上连接有水冷系统；气路控制系统和真空系统穿过所述下端密封水冷法兰与炉体相通；所述分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统都与控制系统相连接。

2.按照权利要求1所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述上端升降系统包括丝杠和电机，所述丝杠一端与电机相连接，另一端与加热炉体上端相连接；所述下端升降系统与上端升段升降系统结构相同。

3.按照权利要求1所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述分段温控系统为将炉体分区，每个区域的炉体外设置电阻丝，所述电阻丝两端分别与设置在保温层外的电极相连接，所述每个温控区还连接有温度传感器；所述电极和温度传感器与控制系统相连接。

4.按照权利要求1所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述真空系统包括真空泵和压力变送器，所述真空泵通过压力变送器与炉体相通，所述真空泵和压力变送器与控制系统相连接。

5.按照权利要求1所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述气路控制系统包括储气罐和质量流量计，所述储气罐通过电磁阀与炉体相通，所述质量流量计设置在电磁阀上，所述电磁阀和质量流量计与控制系统相连接。

6.按照权利要求1所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述水冷系统包括水泵和电磁阀，所述水泵通过电磁阀与密封水冷法兰相连接，所述水泵和电磁阀与控制系统相连接。

7.按照权利要求1至6中任一项所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述基片吊篮连接使吊篮旋转的电机，所述电机与炉体上端的连接处采用磁流体密封。

8.按照权利要求1至6中任一项所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述分隔区外部设置有炉体旋转机构，所述分隔区上固定有圆柱形凸起，所述机体上设置有与圆柱形凸起相适应的套筒。

9.按照权利要求1至6中任一项所述的一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，其特征在于：所述控制系统还连接有报警系统。