[发明专利]一种光纤压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种光纤压力传感器及其制备方法，其特征是：传感器中光纤的纤芯位置偏离悬膜中轴线，受压时入射光被弧形悬膜斜反射，从而反射进入光纤的强度可以作为探测的敏感量；利用牺牲层实现弹性薄膜从衬底分离从而获得弹性悬膜，而弹性悬膜的边缘仍然和衬底固定在一起。

2.权利要求1所述的悬膜中轴线，是指悬膜未受压形变时垂直于悬膜且经过悬膜中心的轴线。

3.权利要求1所述的衬底表面具有牺牲层薄膜和弹性薄膜。

4.权利要求1所述的弹性悬膜是通过在衬底背面刻蚀孔洞得到，其中牺牲层起到腐蚀停止层的作用。

5.权利要求1所述的传感器可以通过将带有弹性悬膜的衬底表面与光纤套筒粘结在一起得到，其中弹性悬膜与光纤端面之间具有空隙。

6.权利要求1所述的传感器可以通过将带有悬膜的衬底背面与光纤对接到一起得到，其中弹性悬膜与光纤端面之间的空隙距离由牺牲层的厚度决定。

7.权利要求5所述的空隙，其间距可以通过控制光纤在套筒中的位置来调节。

8.权利要求1，5和6所述的传感器，其中的弹性悬膜与光纤端面之间具有空隙，因此悬膜可以在外部压力作用下发生弹性形变。

9.权利要求1和3所述的衬底和薄膜材料选自有机和无机材料，其中衬底材料优选Si、GaAs和InP，薄膜材料优选Si、SiO₂、SiN_x、GaAs、InGaP、InGaAsP和InP。