[发明专利]用于基于真空调节部件流动和单个化的系统、装置和方法

说明书

技术领域

本公开总体上涉及基于真空的，且用于调节物件或部件(例如，半导体部件)流动或运动和/或用于分隔沿进给轨道移动、运输或递送的物件或部件的系统、组合件、装置和方法。更具体地，本公开涉及了提供至少一个，以及在一些实施方案中提供多个旨在周期或间歇地施加真空力的分立或独立真空单元、腔或区的系统、组合件、装置和方法，其中所述的真空力减缓或停止部件沿进给轨道的流动。在某些实施方案中，此类真空单元、腔或区可以是选择性或独立配制的。

背景技术

经常需要将进给轨道中连续毗邻或顺序排列的部件(如无铅方形扁平封装(QFN))分隔或单个化(singulate)，之后执行特定工艺，如部件测试或检查。

使用件进给轨道，多种类型的部件可以从大块或大团部件源转移至部件目的地。一般而言，将多个部件沿进给轨道从部件入口向部件出口连续(例如，成列地)运输。这些部件中每一个随后从进给轨道(例如单个地或以单个方式)被卸载、输出或抛出至部件接收站。通常，位于部件接收站的部件被转移至加工站(例如，用于测试、检查、分选或安装)。这个过程在半导体领域的说法被称作“单个化(singulation)”。一般通过拾取或放置机构促进部件转移至加工站。

传统上，为使最新转移至部件接收站并置于其上的第一部件单个化，需要将该部件与进给轨道内部排列的其他部件(例如，包括在进给轨道内部最靠近进给轨道出口的末端部件和在进给轨道内部顺次排列的后续部件)分离，从而在部件接收站上的部件可以转移至适宜的加工站。因此，第一部件从进给轨道的部件末端出口卸载至部件接收站必须伴随防止进给轨道所携带的后续部件同时或不间断地对或向部件接收站卸载、输出或抛出，直至第一部件已经从部件接收站移出至加工站并且该部件接收站已经返回至进给轨道的末端出口后。为了向部件接收站提供时间以返回至进给轨道的末端出口，部件沿进给轨道的进一步运动或流动需要并且不得不周期地中断、中止或停止。在该部件已经从部件接收站移出并且部件接收站已经返回至进给轨道末端出口后，沿进给轨道的部件流动将再继续，从而下一个部件(即末端部件)可以从进给轨道转移或卸载至部件接收站。

存在多种系统、方法和技术旨在使部件沿进给轨道的运动停止和/或防止部件从进给轨道的末端出口对或向部件接收站输出、卸下或卸载。

一些常规系统采用机械制动机构(固定器)，其中在前一末端部件已经被卸载后，物理地使用所述的机械制动机构来通过施加机械力至末端部件(即位于进给轨道部件出口末端的末尾部件)而暂停该末端部件的移动，以等待部件接收站在部件已经移至部件加工站后返回。机械制动机构发挥作用以不仅制止末端部件卸载，还暂停或实现已经沿进给轨道排成一线的部件组的分隔或向进给轨道末端出口移动或流动。

国际专利申请WO 2008/148866描述了移动性机械制动单元在电子部件进给轨道末端用于停止沿进给轨道行进的电子部件运动的用途。此外，日本专利申请JP200621928公开了机械制动机构用于促进沿进给轨道运输的半导体部件的分隔。此类机械中的每小时单位(UPH)一般可以达到每小时20000至30000个部件。

日本专利申请JP 2006298578公开了同时使用真空和空气幕(air curtain)来实现单个化的进给轨道。JP 2006298578描述了沿进给轨道交替设置，且向三个末端部件施加均匀真空力或均匀正气压的空腔的用途(例如，如JP 2006298578的3a-3c中所示)。施加至这三个末端部件的真空力旨在使部件流动停止，并且施加至这三个末端部件的正压旨在重启部件流动。

然而，在JP 2006298578中，施加的真空力不能可靠地停止部件流动。在进给轨道的部件出口附近存在少于3个末端部件的情况下，这个弱点将更加严重。在这种情况下，真空泄漏导致施加至末端部件的真空力的强度明显下降，因而不能如所期望那样使得沿进给轨道的部件流动停止。

另外，提供正气压以从大块部件源中持续地移出部件至进给轨道中。这些以极高速度行进的部件将碰撞到已经在进给轨道末端附近排成一线的部件的后端，并且这种连续和反复的冲击将引起排成一线的部件朝或向进给轨道的末端出口缓慢移动。随着时间过去，这些持续碰撞将引起末端部件的非预期卸载。

为了成功停止部件流动，JP 2006298578教授了设置于进给轨道的部件出口与部件接收站之间的空气幕机构的用途。将所述空气幕机构配置成通过经分隔进给轨道末端和部件接收站的导槽(channel)或间隙来施加正气压而产生空气幕或气流。