[发明专利]用氦气检测多腔容器密封性的方法

权利要求书

1.一种用氦气检测多腔容器密封性的方法，包括氦质谱检漏仪（1），顺次相连的真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3）、高真空挡板阀（4）和集合管（5），及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置，在所述集合管（5）上自左至右至少设有第一连接管路（6）、第二连接管路（6）、第三连接管路（6）三个连接管路（6），每个所述连接管路（6）上设有用于关闭和开启该连接管路（6）的阀FA（7），在该阀FA（7）下方的连接管路（6）上设有与所述氦质谱检漏仪（1）可拆卸连接的接口JA（8），在该接口JA（8）上设有用于关闭和开启该接口JA（8）的阀FB（9），每个所述连接管路（6）的下端设有与待测多腔容器（19）入口可拆卸连接的接口JB（10），其特征在于包括以下步骤：

步骤一：进行外漏检测

将各连接管路（6）的下端接口JB（10）分别与待测多腔容器密（19）的相应腔室的入口一一对应密封卡接或密封螺接，

将各连接管路（6）的阀FA（7）都打开，将各连接管路（6）的阀FB（9）都关闭，开启真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3），进行抽真空，抽真空完毕后，关闭各个阀FA（7），用密封装置将板翅换热器（19）密封包住，并在密封装置内充填氦气，然后，将氦质谱检漏仪（1）依次接各连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启相应的阀FB（9），检测各腔室的外漏；

步骤二：进行内漏检测

将各连接管路（6）的阀FA（7）都关闭，将氦气通过第一连接管路（6） 的阀FB（9） 充至多腔容器密（19）的第一腔室内，氦质谱检漏仪（1）依次接第二连接管路（6）的接口JA（8）、第三连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启相应的阀FB（9），检测多腔容器密（19）的第一腔室分别与多腔容器密（19）的第二腔室、第三腔室之间的相互泄漏情况；

将氦气通过第二连接管路（6） 的阀FB（9） 充至多腔容器密（19）的第二腔室内，氦质谱检漏仪（1）接第三连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启阀FB（9），检测多腔容器密（19）的第二腔室与多腔容器密（19）的第三腔室之间的相互泄漏情况。

2.根据权利要求1所述的用氦气检测多腔容器密封性的方法，其特征在于：在所述罗茨泵（3）与高真空挡板阀（4）之间连有过渡段（11），在所述高真空挡板阀（4）与集合管（5）之间连有波纹管（12）；所述密封装置包括一气囊（13），所述气囊（13）依次通过阀FC（14）、压缩机（15）和阀FD（16）与氦气罐（17）相连，密封装置内的氦气和多腔容器密（19）腔室内的氦气，通过阀FC（14）、压缩机（15）和阀FD（16）与氦气罐（17）相连，组成氦气回收系统，以实现氦气的多次使用；使用中，适当添加高纯度氦来保持测试浓度的要求。