[发明专利]一种GaAs系太阳能电池的多层减反射膜

权利要求书

1.一种GaAs系太阳能电池的多层减反射膜，其特征在于：所述多层减反射膜设置于GaAs系太阳能电池的上面；所述多层减反射膜包括至少两层减反射射膜，由SiN_X、MgF₂、TiO_X、Al₂O_X、SiO₂、ZnO薄膜中的两种或两种以上层叠形成。

2.根据权利要求1所述的多层减反射膜，其特征在于：所述多层减反射膜是TiO_X和Al₂O_X双层膜结构，或者是MgF₂和ZnO双层膜结构，或者是SiN_X、 TiO_X和 SiO₂三层膜结构，或者是MgF₂、ZnO和SiO₂三层膜结构。

3.根据权利要求1或2所述的多层减反射膜，其特征在于：所述多层减反射膜厚度为50~120nm，该叠层减反射膜的折射率为1.8~2.2。

4.根据权利要求3所述的多层减反射膜，其特征在于：进一步的，所述多层减反射膜为透光膜。