[发明专利]采用氟硅酸法来制备四氟硅烷的方法无效
| 申请号： | 201110423420.7 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102515170A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 原东升 | 申请（专利权）人： | 天津市泰亨气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人： | 朱红星 |
| 地址： | 300385 天津市西*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 硅酸 制备 硅烷 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用氟硅酸法来制备四氟硅烷的方法，其特征在于：
(1)将25-30g BaCl2·2H2O溶于70mL水中，再加入30%H2SiF6，直到BaSiF6完全沉淀出来；用水反复洗涤，直到无氯离子，加热至110-120℃进行干燥，再放入装有P2O5的干燥器中干燥；
(2)将制得的BaSiF6热分解:
将20克BaSiF6放入A反应管内，一边进行真空脱水，一边由电炉B升温至200℃，使其完全干燥，生成的气体将进入第一接收器D，接收器D要放入装有干冰-丙酮G的杜瓦瓶C中，接收生成的杂质氟硅及氟化氢;
(3)当把电炉B温度升至300℃，就开始产生四氟硅烷，此时在插入装有液氮H杜瓦瓶中的第二接收器E中接收;
(4)当继续升温至500℃，就转为激烈的热分解，得到白色固体四氟硅烷。
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