[发明专利]AT切割的水晶振动片、水晶装置及水晶振动片的制造方法

权利要求书

1.一种AT切割的水晶振动片，将长边方向规定为X轴、将厚度方向规定为Y’轴、将短边方向规定为Z’轴，其特征在于，

具备：

利用电压的施加而振动的水晶振动部；

以包围上述水晶振动部的方式形成的框部；以及

形成在上述水晶振动部与上述框部之间且在上述Y’轴方向贯通的贯通槽；

上述贯通槽包括形成在向上述X轴方向延伸的上述水晶振动部的+Z’轴方向上的第一贯通槽和形成在-Z’轴方向上的第二贯通槽，

上述第一贯通槽与上述第二贯通槽的Z’轴方向的宽度不同。

2.根据权利要求1所述的AT切割的水晶振动片，其特征在于，

上述第一贯通槽的Z’轴方向的宽度比上述第二贯通槽的Z’轴方向的宽度小。

3.一种AT切割的水晶振动片，将短边方向规定为X轴、将厚度方向规定为Y’轴、将长边方向规定为Z’轴，其特征在于，

具备：

利用电压的施加而振动的水晶振动部；

以包围上述水晶振动部的方式形成的框部；以及

形成在上述水晶振动部与上述框部之间且在上述Y’轴方向贯通的贯通槽；

上述贯通槽包括形成在向上述X轴方向延伸的上述水晶振动部的+Z’轴方向上的第一贯通槽和形成在-Z’轴方向上的第二贯通槽，

上述第一贯通槽与上述第二贯通槽的Z’轴方向的宽度不同。

4.根据权利要求3所述的AT切割的水晶振动片，其特征在于，

上述第一贯通槽的Z’轴方向的宽度比上述第二贯通槽的Z’轴方向的宽度小。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的AT切割的水晶振动片，其特征在于，

上述框部在Y’轴方向上形成得比水晶振动部还厚。

6.根据权利要求1至5的任意一项所述的AT切割的水晶振动片，其特征在于，

上述水晶振动部是中心的Y’轴方向的厚度比外周的Y’轴方向的厚度还厚的台面型。

7.根据权利要求1至6的任意一项所述的AT切割的水晶振动片，其特征在于，

与上述水晶振动部的上述贯通槽面对面的+Z’轴侧的侧面与-Z’轴侧的侧面形成平面状。

8.一种水晶装置，其特征在于，具备：

权利要求1至7的任意一项所记载的上述AT切割的水晶振动片；

与上述AT切割的水晶振动片的上述+Y’轴方向的面接合的第一板；以及

与上述AT切割的水晶振动片的上述-Y’轴方向的面接合的第二板。

9.一种AT切割的水晶振动片的制造方法，该AT切割的水晶振动片将长边方向规定为X轴、将厚度方向规定为Y’轴、将短边方向规定为Z’轴，并且具有：利用电压的施加而振动的水晶振动部；以包围上述水晶振动部的方式形成的框部；以及形成在上述水晶振动部与上述框部之间且在上述Y’轴方向贯通的贯通槽；其特征在于，

具备：

准备形成有多个上述AT切割的水晶振动片的被AT切割的水晶晶片的工序；

使用包括形成在向上述X轴方向延伸的上述水晶振动部的+Z’轴方向上的第一蚀刻区域和形成在-Z轴方向且Z’轴方向的宽度与上述第一蚀刻区域不同的第二蚀刻区域的掩膜，对与上述贯通槽所对应的区域进行曝光的曝光工序；以及

对与在上述曝光工序中曝光的上述贯通槽对应的区域进行蚀刻的第一蚀刻工序。

10.一种AT切割的水晶振动片的制造方法，该AT切割的水晶振动片将短边方向规定为X轴、将厚度方向规定为Y’轴、将长边方向规定为Z’轴，并且具有：利用电压的施加而振动的水晶振动部；以包围上述水晶振动部的方式形成的框部；以及形成在上述水晶振动部与上述框部之间且在上述Y’轴方向贯通的贯通槽；其特征在于，

具备：

准备形成有多个上述AT切割的水晶振动片的被AT切割的水晶晶片的工序；

使用包括形成在向上述X轴方向延伸的上述水晶振动部的+Z’轴方向上的第一蚀刻区域和形成在-Z轴方向且Z’轴方向的宽度与上述第一蚀刻区域不同的第二蚀刻区域的掩膜，对与上述贯通槽所对应的区域进行曝光的曝光工序；以及

对与在上述曝光工序中曝光的上述贯通槽对应的区域进行蚀刻的第一蚀刻工序。