[发明专利]水蒸气阻挡膜

说明书

技术领域

本发明涉及一种例如在液晶显示器或有机EL显示器或太阳能电池等设备、食品、药品等的包装材料等中，作为用于赋予较高的防湿性的气体阻挡材使用的水蒸气阻挡膜。

背景技术

液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备通常耐湿性较弱，因吸湿而使其特性迅速劣化，所以必须配备具有高防湿性、即防止氧气或水蒸气等透过或浸入的气体阻挡性的组件。

例如，在太阳能电池的例子中，在太阳能电池模块的受光面的相反一侧的背面设置有背板。关于该背板代表性的有由利用蒸镀材等成膜在基材上的具有高防湿性的水蒸气阻挡膜和保护这些的部件等构成的背板。并且，不仅是上述太阳能电池等设备，对食品或药品等的包装材料等也要求较高的水蒸气阻挡性，一般广泛周知有具备在塑料的表面蒸镀氧化硅、氧化铝或铝金属箔等来成膜的阻挡膜的包装材料等。

例如公开有一种具有仅在透明板的一面侧依次层叠透明粘结层及水蒸气阻挡性透明薄膜而成的层叠结构的水蒸气阻挡性透明层叠体，其具有水蒸气阻挡性透明薄膜在拉伸改性PET薄膜层叠由金属氧化物膜构成的透明水蒸气阻挡层而成的结构(例如参考专利文献1)。作为该专利文献1的透明水蒸气阻挡层的金属氧化物膜可举出氧化硅、氧化铝、氧化锌、铟锡氧化物(ITO)、氮化硅、氟化镁及氧化钛等。

并且，公开有在树脂基材薄膜上具有至少一层无机气体阻挡层的水蒸气阻挡薄膜(例如参考专利文献2)。作为专利文献2的无机气体阻挡层中所含的成分，记载有利用包含选自Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、Cu、Ce或Ta的一种以上金属的氧化物、氮化物或氧化氮化物等。

并且，公开有在透明基材薄膜的至少一面依次层叠氧化铝的蒸镀薄膜层、气体阻挡性被膜层、氧化铝的蒸镀薄膜层的高水蒸气阻挡层叠体(例如参考专利文献3)。作为专利文献3的气体阻挡性被膜层可举出电子射线固化型丙烯酸树脂、尿素树脂等有机高分子树脂、氧化硅、类金刚石等无机化合物。

专利文献1：日本专利公开2007-152847号公报(权利要求1、2及[0030]段)

专利文献2：日本专利公开2006-239883号公报(权利要求1、2及[0017]段)

专利文献3：日本专利公开2003-181974号公报(权利要求1、3及[0017]段)

但是，由上述以往的专利文献1～3所示的氧化硅或氧化铝等无机氧化物构成的阻挡膜中，若要实现较高的水蒸气阻挡性，以单层膜是不充分的，因此需设为2层以上的多层膜。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显示较高的水蒸气阻挡性的水蒸气阻挡膜。

本发明的第1观点，即一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其中，当阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50(其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4)。另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度B_X与第2氧化物(Y)的碱度B_Y之差的绝对值。并且，将在水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。

本发明的第1水蒸气阻挡膜，即一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其中，当阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50(其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4)。另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度B_X与第2氧化物(Y)的碱度B_Y之差的绝对值。并且，将在水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。以满足上述参数的方式构成的水蒸气阻挡膜能够实现较高的水蒸气阻挡性。

附图说明

图1是表示水蒸气透过率较高的水蒸气阻挡膜的内部结构的截面示意图。

图2是表示水蒸气透过率较低的水蒸气阻挡膜的内部结构的截面示意图。