[发明专利]一种石榴石型单晶生长用抽吸装置无效

专利信息
申请号: 201110427544.2 申请日: 2011-12-20
公开(公告)号: CN102634848A 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 柳祝平;黄小卫;李佼 申请(专利权)人: 元亮科技有限公司
主分类号: C30B29/28 分类号: C30B29/28;C30B15/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 殷红梅;涂三民
地址: 214037 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石榴石 型单晶 生长 抽吸 装置
【权利要求书】:

1. 一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:在密闭外壳(1)内固定设置有若干层侧壁相贴的保温壳(2),位于外层保温壳(2)的高度大于位于内层保温壳(2)的高度,在每层保温壳(2)的顶端部固定有保温顶片(3),在每块保温顶片(3)的对应位置上开设有出料孔(4),在保温壳(2)内固定设有生长坩埚(5),在生长坩埚(5)位置的最外层保温壳(2)的外部设有发热线圈(6),在保温壳(2)上开设有抽气管安装孔,在抽气管安装孔内插装有抽气管(7),所述抽气管(7)设置在最下层保温顶片(3)的下方,抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)的内部空间中,抽气管(7)的出气端与抽气泵(8)相连;在密闭外壳(1)外设有提拉机构(9),提拉机构(9)的提拉杆穿过密闭外壳(1)与出料孔(4)。

2.如权利要求1所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)位于最下层保温顶片(3)的下方5~10mm处,抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)内10~15mm。

3.如权利要求1或2所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)的内径为8~10mm,抽气管(7)的厚度为2~3mm。

4.如权利要求3所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)的材料是石英或者为氧化铝。

5.如权利要求1所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:位于上层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径等于位于下层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径。

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