[发明专利]一种石榴石型单晶生长用抽吸装置无效
申请号: | 201110427544.2 | 申请日: | 2011-12-20 |
公开(公告)号: | CN102634848A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 柳祝平;黄小卫;李佼 | 申请(专利权)人: | 元亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B15/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅;涂三民 |
地址: | 214037 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石榴石 型单晶 生长 抽吸 装置 | ||
1. 一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:在密闭外壳(1)内固定设置有若干层侧壁相贴的保温壳(2),位于外层保温壳(2)的高度大于位于内层保温壳(2)的高度,在每层保温壳(2)的顶端部固定有保温顶片(3),在每块保温顶片(3)的对应位置上开设有出料孔(4),在保温壳(2)内固定设有生长坩埚(5),在生长坩埚(5)位置的最外层保温壳(2)的外部设有发热线圈(6),在保温壳(2)上开设有抽气管安装孔,在抽气管安装孔内插装有抽气管(7),所述抽气管(7)设置在最下层保温顶片(3)的下方,抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)的内部空间中,抽气管(7)的出气端与抽气泵(8)相连;在密闭外壳(1)外设有提拉机构(9),提拉机构(9)的提拉杆穿过密闭外壳(1)与出料孔(4)。
2.如权利要求1所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)位于最下层保温顶片(3)的下方5~10mm处,抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)内10~15mm。
3.如权利要求1或2所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)的内径为8~10mm,抽气管(7)的厚度为2~3mm。
4.如权利要求3所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:所述抽气管(7)的材料是石英或者为氧化铝。
5.如权利要求1所述的一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:位于上层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径等于位于下层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径。
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