[发明专利]一种传动加热系统及方法无效
申请号: | 201110427721.7 | 申请日: | 2011-12-19 |
公开(公告)号: | CN102605348A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 崔军;吴国发;辛科 | 申请(专利权)人: | 汉能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传动 加热 系统 方法 | ||
1.一种传动加热系统,包括安装在反应腔室侧壁上的滚轮传动装置和设于反应腔室底部的升降支撑装置,其特征在于加热板直接设在升降支撑装置上,加热板靠近传动滚轮的两侧边缘设有使传动滚轮通过的凹槽。
2.根据权利要求1所述的传动加热系统,其特征在于所述滚轮传动装置包括滚轮、仅支持径向运动而不支持轴向运动的传动轴和带动传动轴转动的电机。
3.根据权利要求1所述的传动加热系统,其特征在于所述升降支撑装置包括加热板托架和带动加热板托架上下移动的升降气缸。
4.一种基于权利要求1所述的传动加热系统的传动加热方法,当反应物进入到反应腔室内部,滚轮传动装置将反应物传送到工作位置,升降支撑装置将加热板升起,穿过滚轮,将反应物托起并使其离开滚轮,开始加热过程;加热过程结束后,升降支撑装置带动加热板及反应物下降,加热板穿过滚轮回到原位,反应物重新落在滚轮上,滚轮传动装置将反应物出送出反应腔室。
5.根据权利要求4所述的传动加热方法,其特征在于所述反应物为玻璃基板。
6.根据权利要求5所述的传动加热方法,其特征在于所述加热板与玻璃基板为面-面接触。
7.根据权利要求6所述的传动加热方法,其特征在于所述玻璃基板被传送出反应腔室后,经过磨边工艺,将其磨至预定尺寸或标准尺寸。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的