[发明专利]在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法无效
| 申请号： | 201110428096.8 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103160782A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;张斌;张克金;强力;魏晓川;安宇鹏;武斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 汽车发动机 气门 表面 制备 金刚石 涂层 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法，其特征在于该方法步骤为：
A将汽车发动机气门挺柱进行常规除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次进行超声清洗；
B将气门挺柱置于多靶复合溅射沉积系统中并预抽真空至2×10-3Pa；
C高频率脉冲磁控溅射粘着层，以Ti、Si靶为阴极，工作气体为氩气，沉积时间10～30min；
D反应磁控溅射缓冲层，以Ti、Si靶为阴极，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯或氩气和氮气，沉积时间30～60min；
E反应溅射沉积成分渐变复合类金刚石涂层，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间600～120min；自然冷却后得到多层类金刚石复合涂层。
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