[发明专利]差分电感仿真方法

权利要求书

1.一种差分电感仿真方法，其特征在于，包括以下步骤：

一.建立常规差分电感模型；

二.获得不考虑工艺波动的差分电感的金属线宽度、金属线间距、金属线电阻率、电感圈数、电感外径；

三.对不考虑工艺波动的金属线宽度W、金属线间距S、金属线电阻率ρ进行修正，得到修正后的金属线宽度W′、修正后的金属线间距S′、修正后金属线电阻率ρ′；

W′＝W+w_m*agauss(0，1，1)；

S′＝S+2w_m*agauss(0，1，1)；

ρ′=ρ+ρ1*(1S)sx*agauss(0,1,1)+ρ2*(1W)wx*agauss(0,1,1);]]>

上式中，W′为修正后的金属线宽度，W为不考虑工艺波动的金属线宽度，w_m为金属线宽度修正系数，S′为修正后的金属线间距，S为不考虑工艺波动的金属线间距，ρ′是修正后金属线电阻率，ρ是不考虑工艺波动的金属线电阻率，ρ₁是电阻率随金属线间距变化的失配修正系数，ρ₂是电阻率随金属线宽度变化的失配修正系数，sx是金属线间距指数修正项，wx是金属线宽度指数修正项，agauss(0，1，1)是高斯函数，其括号中(0，1，1)的第1项的0表示高斯函数的中心值在0，括号中第2项的1表示高斯函数曲线从中心值0到左右两边的最大sigma幅值为1，括号中第3项中的1表示高斯函数的sigma数为1；

四.根据不考虑工艺波动的电感圈数、电感外径及修正后的金属线宽度、修正后的金属线间距、修正后金属电阻率，通过常规差分电感模型对差分电感仿真，得到差分电感的仿真电感值和Q值。

2.根据权利要求1所述的差分电感仿真方法，其特征在于，

金属线宽度修正系数w_m、电阻率随金属线间距变化的失配修正系数ρ₁、电阻率随金属线宽度变化的失配修正系数ρ₂、金属线间距指数修正项sx和金属线宽度指数修正项wx，通过以下方式确定；

(一).将公式：

W′＝W+w_m*agauss(0，1，1)、S′＝S+2w_m*agauss(0，1，1)、

ρ′=ρ+ρ1*(1S′)sx*agauss(0,1,1)+ρ2*(1W′)wx*agauss(0,1,1),]]>分别写成spice语言的修正项：

(二).参照工艺线上差分电感的金属线宽度的+/-3sigma监控统计分布值及版图标定的差分电感的金属线宽度W，得到金属宽度修正系数w_m；根据版图标定的差分电感的金属线宽度W、电感圈数N、电感外径D，计算金属线间距S；根据版图标定的差分电感的金属线宽度W、金属线电阻率ρ、及计算得到的金属线间距S，通过上述修正项获得修正后的金属线宽度W′、修正后的金属线间距S′、修正后金属线电阻率ρ′；

(三).选择固定的3MHz到30MHz之间的频率，根据修正后的金属线宽度W′、修正后的金属线间距S′、修正后金属线电阻率ρ′及差分电感的电感圈数N、电感外径D，通过常规差分电感模型对差分电感进行蒙特卡洛仿真，得到该频率下的差分电感的仿真Q值；

(四).将差分电感的仿真Q值的分布和相同频率条件下差分电感的实际测量Q值的分布做比较，通过拟合，得到电阻率随金属线间距变化的失配修正系数ρ₁、电阻率随金属线宽度变化的失配修正系数ρ₂、金属线间距指数修正项sx、金属线宽度指数修正项wx。