[发明专利]光谱测量系统与光谱测量方法

权利要求书

1.一种光谱测量系统，包括：

第一无聚焦模块，用以接收一待测物所发出的一入射光，使得上述入射光平行于一系统法线；

第一光栅，用以将不同波长的上述入射光绕射成不同的出射角度；

第二无聚焦模块，从上述第一光栅所输出的上述入射光中筛选出一特定波长，使得上述第二无聚焦模块只输出具有上述特定波长的一绕射光至第二光栅；

第二光栅及无聚焦模块，用以消除上述绕射光的光程差；以及

第三无聚焦模块，用以接收从上述第二光栅所输出的上述绕射光，以便输出与上述系统法线平行的一单色光。

2.如权利要求1所述的光谱测量系统，包括控制单元，用以调整上述第一光栅，使得从上述第一无聚焦模块所输出的上述入射光与上述第一光栅的入射角对应于上述特定波长。

3.如权利要求2所述的光谱测量系统，其中上述控制单元控制上述第二光栅，使得上述第二光栅转动的方向与角度与上述第一光栅改变的方向与角度相同，以便补偿上述第一光栅所造成的光程差。

4.如权利要求3所述的光谱测量系统，包括面形光侦测器，用以接收上述单色光，以便纪录上述单色光的强度。

5.如权利要求4所述的光谱测量系统，其中上述第一无聚焦模块包括：

第一透镜，用以接收上述入射光；

第二透镜，用以将上述入射光平行输出至上述第一光栅；以及

第一光圈，设置在上述第一透镜与上述第二透镜之间，用以提高光谱分辨率。

6.如权利要求5所述的光谱测量系统，还包括第三无聚焦模块，设置在上述第一光栅与上述第二光栅之间，其中上述第三无聚焦模块包括：

第三透镜，用以接收从上述第一光栅所输出的上述绕射光；

第四透镜，用以改变从上述第三透镜所输出的上述绕射光的光迹；

第二光圈，设置在上述第三透镜与上述第四透镜之间，用以提高光谱分辨率，其中上述第三透镜与上述第二光圈从上述第一光栅所输出的光筛选出一特定波长，以便只输出具有上述特定波长的上述绕射光；以及

第五透镜，用以将上述绕射光平行输出至上述第二光栅。

7.如权利要求6所述的光谱测量系统，其中上述第三无聚焦模块包括：

第六透镜，用以接收从上述第二光栅所输出的上述绕射光；以及

第七透镜，用以改变从上述第六透镜所输出的上述绕射光的光迹，以便输出与上述系统法线平行的上述单色光至上述面形光侦测器。

8.一种光谱测量方法，适用于一光谱测量系统，上述光谱测量系统包括第一无聚焦模块、第二无聚焦模块、第三无聚焦模块、第一光栅与第二光栅，上述光谱测量方法包括：

通过上述第一无聚焦模块接收一待测物所发出的一入射光，使得上述入射光平行于一系统法线；

通过上述第一光栅与上述第二无聚焦模块，从上述第一无聚焦模块所输出的上述入射光中筛选出一特定波长，使得上述第二无聚焦模块只输出具有上述特定波长的一绕射光；

通过上述第二光栅和上述第二无聚焦模块消除上述第一光栅所造成的光程差；以及

通过上述第三无聚焦模块接收从上述第二光栅所输出的上述绕射光，以便输出与上述系统法线平行的一单色光。

9.如权利要求8所述的光谱测量方法，还包括：

调整上述第一光栅，使得上述入射光与上述第一光栅的入射角对应于上述特定波长；以及

调整上述第二光栅，使得上述第二光栅转动的角度和方向与上述第一光栅转动的角度和方向相同，以便补偿上述第一光栅所造成的光程差。

10.如权利要求9所述的光谱测量方法，还包括通过一面形光侦测器接收上述单色光，以便分析上述待测物的影像。