[发明专利]一种蓝宝石衬底抛光装置及工艺

权利要求书

1. 一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：在机架（113）上转动安装有转轴（114），在转轴（114）的顶端部固定有抛光台（101），在抛光台（101）的上表面固定有水晶抛光垫（102），在水晶抛光垫（102）上方设有磨料供给机构；在机械臂（107）上通过胶轮（108）安装有固定环（106），在固定环（106）内设有衬底固定盘（104），在衬底固定盘（104）上方设有将衬底固定盘（104）固定的蓝宝石衬底压向水晶抛光垫（102）的加压机构（105）；所述水晶抛光垫（102）由多个厚度相同的水晶片（112）用紫外胶粘附在抛光台（101）的上表面上，相邻两片水晶片（112）之间的间隙为0.5~2mm。

2.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述水晶片（112）的形状为长方形或者正多边形。

3.如权利要求1或2所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述水晶片（112）的厚度为0.5~1mm，水晶片（112）的平面度为1～3um。

4.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述加压机构（105）为块铁或者砝码。

5.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述磨料供给机构包括在机架（113）上安装的固定支架（111），在固定支架（111）上安装有漏斗固定升降横臂（109），在漏斗固定升降横臂（109）上固定有磨料供给漏斗（110）。

6.一种使用蓝宝石衬底抛光装置进行蓝宝石衬底抛光的工艺，其特征是该工艺包括如下步骤：

a、在抛光装置的转轴上安装抛光台，用紫外胶将水晶片粘附在抛光台的上表面上，相邻两片水晶片之间的间隙为0.5~2mm；

b、将磨料供给机构固定于机架上，加入SiO₂粉末，SiO₂粉末的粒径控制在70～90nm；

c、启动抛光台的转轴，使抛光台转速保持在30~90r/min，将磨料供给机构的控料阀门打开，使SiO₂磨料以2~6ml/min的流量连续提供给水晶抛光垫，10~20min后关闭转轴及磨料供给机构，预先使其磨料均匀分布于抛光垫上；

d、将要抛光的蓝宝石衬底用蜡粘贴在衬底固定盘上，使其抛光面面向抛光垫放置，把加压机构放置在衬底固定盘上，然后套上固定环，调节胶轮，使其两者紧密接触；

e、二次启动抛光台的转轴，使抛光台转速保持在30~90r/min，蓝宝石衬底在摩擦力的作用下跟随抛光台自旋，将磨料供给机构的控料阀门打开，使SiO₂磨料以2~6ml/min的流量连续提供给抛光垫，将衬底抛光到所需精度。