[发明专利]生产管理系统和生产管理方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如在对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂中，对使用至少包含离线（off line）装置的一个或多个处理装置来制造发光二极管（LED）、半导体激光器元件等的半导体发光元件等的半导体元件时的生产进行管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。

背景技术

在现有的LSI制造工厂等中，在专利文献1中，具有：根据在半导体制造装置中设定的晶片处理条件，计算出晶片处理所需要的时间的功能；基于相同条件的实际结果值的统计，计算出未以程式（recipe）设定的晶片搬运时间、室（chamber）的处理条件稳定化时间的功能；根据由该2个功能求取的时间，计算出晶片处理的结束预测时刻的功能；在预测时刻由于半导体制造装置的问题而从最初预测偏离的情况下，校正预测时刻的功能；以与有无校正无关的该结束预测时刻起追溯了半导体制造装置的用户指定的一定时间的定时向MES（Manufacturing Execution System：制造执行系统）或MCS通知特别指定的信号的功能，或者通过信号塔的点亮状态的变化或装置附带的蜂鸣器的鸣动来对用户进行通知的功能。

此外，为了对离线装置进行在线（on line）管理，以往如图5所示那样使用如下方法：对离线装置103编入能与进行工序管理的主机装置101在线的个人计算机102，经由个人计算机102读取离线装置103的装置状态信息。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-43950号公报。

在上述现有的结构中，为了对离线装置103编入个人计算机102等的在线设备，会伴随装置的改造，不仅花费开发费用，而且在每个装置中需要开发的部分多，对离线装置103多的生产工序的应用是困难的。

在对LSI工厂的化合物半导体工厂的再开发、手动工厂的有效利用时，要求有如下技术：以低投资对离线的手动处理进行以在线为标准的管理，实现省人工化、防止操作错误。

发明内容

本发明解决了上述现有问题，其目的在于，提供一种在手动搬运／离线装置存在的生产线中，通过对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，从而即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。

用于解决课题的单元

本发明的生产管理系统是，在使用至少包含离线装置的一个或多个处理装置来制造半导体元件的半导体制造工序中，具有：主机装置，其对该一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对该离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向该主机装置发送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的该处理装置的该管理个人计算机，使包含该离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。

此外，优选在本发明的生产管理系统中，在从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中同时检测出需要操作的信号时，所述主机装置综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等的生产条件，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作指示信息输出。

进而，优选在本发明的生产管理系统中，所述主机装置根据从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中分别读取的处理开始信号和预先注册的处理时间来预测处理结束时刻，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作预约指示信息输出。

进而，优选在本发明的生产管理系统中，所述管理个人计算机向所述主机装置上载所述装置状态信息，基于上载的装置状态信息，该主机装置将批次的操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机中。

本发明的生产管理方法是使用了本发明的所述生产管理系统的生产管理方法，其中，读取以点亮/非点亮通知对所述离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，管理个人计算机向该主机装置转送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该离线装置的装置状态信息，经由该管理个人计算机，使该离线装置的批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。

采用上述结构，以下，说明本发明的作用。