[发明专利]一种生产三氯氢硅的装置及方法

权利要求书

1.一种生产三氯氢硅的装置，包括硅粉发送仓（1），其特征在于：硅粉发送仓（1）的进料口连接有硅粉进料管道，硅粉进料管道上设有硅粉进料阀（9），硅粉发送仓（1）的出料口端设有硅粉发送仓出料阀（10），硅粉发送仓出料阀（10）出口端连接有硅粉输送管道（2），硅粉输送管道（2）上有管路进气阀（11）,硅粉输送管道（2）出口端连接有高位料仓（3），高位料仓（3）的底部出口设有干燥器（5），干燥器（5）连接有计量罐（6），计量罐（6）连接有合成炉（7），高位料仓（3）的侧面出口端还通过管道连接有除尘器（4），除尘器（4）与干燥器（5）之间设有硅粉回收管道，除尘器（4）通过硅粉回收管道与干燥器（5）连接，管道上设有硅粉回收管道阀（15），除尘器（4）的出口设有排空阀（16），硅粉输送管道（2）采用陶瓷内衬式复合钢管。

2.根据权利要求1所述的一种生产三氯氢硅的装置，其特征在于：硅粉发送仓（1）的仓体上还分别设有氮气进气阀（8）和补气阀（12）。

3.根据权利要求1所述的一种生产三氯氢硅的装置，其特征在于：硅粉输送管道（2）的出口端设有高位料仓进料阀（13）。

4.根据权利要求1所述的一种生产三氯氢硅的装置，其特征在于：高位料仓（3）和除尘器（4）之间的管道上设有排气阀（14）。

5.根据权利要求1所述的一种生产三氯氢硅的装置，其特征在于：硅粉进料阀（9）和硅粉发送仓出料阀（10）均采用内衬陶瓷硬密封球阀。

6.一种生产三氯氢硅的方法，其特征在于：第一步、硅粉由布袋盛装，将硅粉注入硅粉发送仓（1）内；

第二步、关闭硅粉进料阀（9），关闭硅粉发送仓出料阀（10），打开氮气进气阀（8），打开补气阀（12），往硅粉发送仓（1）内充氮气至0.45Mpa，保持氮气压力；

第三步、打开硅粉发送仓出料阀（10），管路进气阀（11），以压缩氮气作为动力，通过硅粉输送管道（2）和高位料仓进料阀（13）将硅粉输送到高位料仓（3）内；

第四步、高位料仓（3）的侧面有排气阀（14），排气阀（14）与除尘器（4）相连，除尘器的作用一方面使高位料仓（3）为负压，利于硅粉的输送，一方面用于气体除尘，减少环境污染；

第五步、除尘后的干净气体通过排空阀（16）排入大气中，布袋过滤下来的硅粉间歇的通过硅粉回收管道阀（15）将硅粉放入干燥器（5）内，干燥器（5）用来干燥硅粉，高位料仓（3）的硅粉利用位差流入干燥器（5）内，硅粉在干燥器（5）内被夹套的蒸汽或热导热油加热得到干燥，干燥氮气压力为5~10Kpa，干燥时间为2-3小时；

第六步、干燥后的硅粉再利用位差放入计量罐（6）内备用，当合成炉（7）内压差变小时低于10-17 Kpa，打开计量罐下部阀，往合成炉（7）内加硅粉，维持合成炉（7）正常反应状态，合成炉（7）正常反应时压差为10-17 Kpa，底或中部温度为310-340℃，反应生成三氯氢硅。