[发明专利]柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器及制作方法无效
申请号: | 201110433976.4 | 申请日: | 2011-12-21 |
公开(公告)号: | CN102522496A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 董维杰;任程诚;喻言;白凤仙 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | H01L41/26 | 分类号: | H01L41/26;H01L41/04;H01L41/113 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 关慧贞 |
地址: | 116100*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 弧面聚偏氟 乙烯 压电 传感器 制作方法 | ||
1.一种柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器的制作方法,其特征是,用液体双组份有机硅胶制成具有弧面的柔性硅胶基底(1),在柔性硅胶基底(1)的弧面上粘覆聚偏氟乙烯压电薄膜(4),在聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的上下表面覆盖保护层,作为上绝缘保护层(6)和下绝缘保护层(2),制成柔性弧面聚偏氟乙烯传感器(15);具体制作步骤如下:
第一步制作硅胶柔性基底(1)
(1)按照灵敏度要求计算模具的曲率半径(R),用不锈钢或塑料制作模具,模具为圆柱体或扇形体,用玻璃板托住模具底部;
(2)液体双组份有机硅胶是由有机硅胶A组份和有机硅胶B组份组成,将液体有机硅胶A组份搅拌均匀,将有机硅胶B组份在包装内摇匀,将A组份和B组份根据配比要求混合,充分搅拌均匀,将混合液体有机硅胶灌填到模具中,灌填高度比聚偏氟乙烯压电薄膜4的宽度大1mm;
(3)液体双组份有机硅胶混合胶体在模具中凝胶6个小时后,在50℃条件下加温2个小时,凝固成型后脱模,按所需弦长和弧高切割形成柔性基底(1);
第二步制作柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器
(1)按所需尺寸和性能参数裁剪聚偏氟乙烯压电薄膜(4),聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的上、下表面分别蒸镀上表面电极(5)和下表面电极(3),铜质上电极贴片(13)压贴在上表面电极(5)的端部,铜质下电极贴片(11)压贴在下表面电极(3)的端部,然后全部用下绝缘防护层(2)和上绝缘防护层(6)包覆密封,用上电极铆钉(7)在上表面电极(5)的端部位置将上电极贴片(13)与上电极压线端子(12)铆合,用下电极铆钉(8)在下表面电极(3)的端部位置将下电极贴片(11)与下电极压线端子(10)铆合,上电极引线(14)焊接在上电极压线端子(12),下电极引线(9)焊接在下电极压线端子(10);
(2)用酒精清洗下绝缘防护层(2)和柔性基底(1)的弧形表面,将绝缘防护好的聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的拉伸方向沿弧长方向放置在柔性基底(1)的弧面上,用502快干胶将二者平整紧密地粘合在一起,完成柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器(15)的制作。
2.一种柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器,其特征是,柔性弧面聚偏氟乙烯压电传感器(15)中,下绝缘防护层(2)用502快干胶紧密地粘合在曲率半径为R的柔性基底(1)上,上表面电极(5)和下表面电极(3)分别蒸镀在聚偏氟乙烯压电薄膜(4)的上下表面上,上电极铆钉(7)将上表面电极(5)、上电极贴片(13)和上电极压线端子(12)固定在一起,由上电极引线(14)引出,下电极铆钉(8)将下表面电极(3)、下电极贴片(11)和下电极压线端子(10)固定在一起,由下电极引线(9)引出。
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