[发明专利]用于直拉硅单晶生长的晶种夹头无效
申请号: | 201110434697.X | 申请日: | 2011-12-22 |
公开(公告)号: | CN102492983A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 田达晰;何永增;程建国;张向成;郑铁波;李刚 | 申请(专利权)人: | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 315800 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 直拉硅单晶 生长 夹头 | ||
1.一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头,其特征在于夹头从上到下顺次包括挂钩1、上段2、中段3、下段4、销子5,挂钩1顶端有一凹槽,凹槽的两侧留有销子孔;上段2包括相连接的圆柱体和圆锥台,总高度a为100-150mm、直径d1为50-70mm,圆锥台的底角α1为60°-70°、圆锥台高度a′为5-10mm;中段3为圆锥台,其高度b为40-50mm;下段4包括相连接的圆柱体和圆锥台,总高度c为100-150mm,直径d2为40-50mm,圆锥台底角α2为60°-70°,圆锥台高度c′为5-10mm,下段4的下部中心设有晶种的固定槽9,固定槽9的直径d6为12-13mm,下段4的下部一侧开有销子孔7,销子孔7为普通键槽形状的通孔,销子孔7的截面两端的圆半径R为2.5-4mm,圆心间距h1为1-5mm,销子孔7的截面靠近夹头表面的圆弧的圆心离夹头轴线的距离为7-9mm;销子孔7内装有销子5,销子5为长度40-50mm的圆柱形,销子5侧面设有宽度e为3-6mm的平面,平面与销子5轴线平行,销子5的直径d4为5-8mm,d4=2R。
2.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头,其特征在于所述的挂钩1、上段2、中段3、下段4、销子5的材料为高温钼。
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