[发明专利]一种三明治式透明导电薄膜及制备方法

权利要求书

1.一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。

2.根据权利要求1所述一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述氧化锌薄膜的厚度为20-400nm。

3.根据权利要求1所述一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述铜膜的厚度为2-8nm。

4.根据权利要求1或2或3所述一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1、原子层沉积方法制备底层氧化锌薄膜：用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到反应温度，用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔，将清洗好的衬底放入反应腔，待达到反应温度，前驱体二乙基锌随高纯氮气以脉冲形式通入反应室，通过化学吸附到衬底上，再通入高纯氮气脉冲清洗衬底上以物理方式吸附的、反应腔中过量的锌前驱体，通入水蒸汽脉冲，与之前化学吸附的二乙基锌发生表面化学反应，用高纯氮气脉冲清洗掉多余的水蒸汽，上述过程完成一个循环的氧化锌薄膜的沉积；根据原子层沉积的循环数量能精确控制氧化锌薄膜的厚度；

或采用磁控溅射方法制备底层氧化锌薄膜：在5×10-4 Pa以上的高背地真空度下，以氧化锌靶射频溅射氧化锌薄膜；

步骤2、磁控溅射方法制备中间层铜薄膜：将步骤1沉积有氧化锌薄膜衬底放入溅射反应腔，抽到5×10-4 Pa以上的真空度，以纯度为99.99%的铜作为靶材直流溅射铜薄膜； 

步骤3、原子层沉积方法或磁控溅射方法制备上层氧化锌薄膜。

5.根据权利要求4所述一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述氧化锌薄膜采用原子层沉积方法制备，氧化锌的反应温度为100～300℃，所用前躯体为二乙基锌和水，二乙基锌脉冲时间为0.1-0.3秒，清洗二乙基锌的脉冲时间至少3秒，水蒸气脉冲时间为0.2-0.4秒，清洗水蒸汽的脉冲时间至少4秒。

6.根据权利要求4所述一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述磁控射频溅射制备氧化锌薄膜，溅射气压为0.5-0.7Pa，射频溅射功率为50-80W；所述磁控直流溅射制备铜膜，溅射气压为0.6-0.8Pa，溅射功率为70-90W。

7.根据权利要求4所述一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述铜膜采用磁控溅射方法制备，但不限于此种方法，其他的物理气相沉积、化学气相沉积以及原子层沉积都可以用来制备铜膜。