[发明专利]用于分层照相检验的方法和设备

权利要求书

1.一种成像系统(10)，包括：

多焦点X射线源(14)，配置成生成至少两个X射线束(26)并将每个所生成的X射线束(26)以不同角度逐个向视场投射，而基本不旋转或平移所述多焦点X射线源(14)；

与所述多焦点X射线源(14)相对的检测器(20)，与所述视场相关并配置成接收从每个所述不同角度所投射的X射线束(26)的至少一部分，以及产生对应于每个所述不同角度的、所述视场的至少两个X射线投影图像，其中每个所述X射线投影图像配置成互相相对移动并相加，以重构所述视场的平面。

2.如权利要求1所述的成像系统(10)，其中，所述多焦点X射线源(14)包括阳极(68)和阴极(66)，并且配置成通过在所述阴极(66)与所述阳极(68)之间生成电流来生成所述至少两个X射线束(104、106、108、110及112)。

3.如权利要求1所述的成像系统(10)，还包括控制器(22)，其配置成检验所重构的所述视场的平面，以确定所述视场内的物体(12)是否存在缺陷。

4.如权利要求3所述的成像系统(10)，还包括控制器(64)，其配置成激活分离和不同的阳极(84)和阴极(74)对，以生成所述至少两个X射线束(104和106)的每一个。

5.如权利要求1所述的成像系统(10)，还包括台面(18)，其配置成从第一位置平移到第二位置，以便在所述视场内移动定位于所述台面(18)上的物体(12)。

6.如权利要求5所述的成像系统(10)，其中，在所述台面(18)从所述第一位置平移到所述第二位置时，所述多焦点X射线源(14)配置成生成至少两个额外X射线束并以不同角度向所述物体(12)逐个投射，而基本不移动所述多焦点X射线源(14)，并且其中所述检测器(20)检测被所述物体(12)衰减后的所述至少两个额外X射线束的至少一部分，以产生所述物体(12)的额外至少两个X射线投影图像。

7.如权利要求1所述的成像系统(10)，其中，物体(12)放置在X射线源(14)与所述检测器(20)之间，以使得所述物体(12)被所述检测器(20)的视场基本覆盖，并且其中所述物体(12)的所述至少两个投影图像配置成被重构，以提供所述物体(12)的体积切片。

8.一种分层照相检验方法(114)，包括：

提供(116)物体(12)到检验区(18)；

通过至少两个X射线束(26)照射(118)所述物体(12)，逐个从不同角度入射在所述物体上，以生成所述物体的一系列成角度移位的图像，其中，所述至少两个X射线束(26)由固定多焦点X射线源(14)生成；

互相相对移动(136)每个所述成角度移位的图像；

将每个所移动的图像相加(138)到一起，以重构所述物体(12)的平面的图像；以及

检验(132)所重构的图像平面，以识别所述物体(12)中是否存在缺陷。

9.如权利要求8所述的方法(114)，其中，所述多焦点X射线源(12)配置成通过在阳极(68)与阴极(66)之间建立的电流生成所述至少两个X射线束(26)。

10.如权利要求8所述的方法(114)，其中，检验(132)所述重构的图像平面包括：将所重构的平面与参考平面对比(142)，以识别所述重构的平面与所述参考平面之间的一个或多个差异。

11.如权利要求8所述的方法(114)，其中，所述固定多焦点X射线源(14)配置成相对旋转和平移运动保持固定。

12.如权利要求8所述的方法(114)，其中，所述一系列成角度移位的图像在约等于40度的角度上获得。

13.如权利要求8所述的方法(114)，包括在检验(132)所述重构的平面图像是否存在缺陷之前，对所述重构的平面图像应用(140)去模糊算法，以充分减少离焦平面的背景效应。

14.如权利要求8所述的方法(114)，还包括：将每个所述移动的图像相加(138)到一起以重构所述物体(12)的第二平面的第二图像。

15.如权利要求14所述的方法(114)，还包括：基于所述物体的所述平面的所述图像和所述物体(12)的所述第二平面的所述第二图像来确定(130)所述物体(12)的厚度。