[发明专利]碳化硅化学气相外延载物台装置

权利要求书

1.一种碳化硅化学气相沉积设备使用的分体式载物台，它包括：船型石英舟、石英托垫和石墨板；其中，所述船型石英舟前端为倾斜面，该倾斜面后设置下凹平台面；所述石英托垫放置于所述下凹平台面上；所述石墨板放置于石英托垫上。

2.根据权利要求1所述的分体式载物台，其特征在于，所述船型石英舟前端是具有10°-20°的角度的斜坡面。

3.根据权利要求2所述的分体式载物台，其特征在于，在所述船型石英舟平台面的前后端分别设置凸起的小石英柱，该石英柱的直径为2-4mm，高度2-3mm。

4.根据权利要求1所述的分体式载物台，其特征在于，所述石英托垫为石英玻璃板，所述石英玻璃板的大小与船型石英舟平台面匹配。

5.根据权利要求5所述的分体式载物台，其特征在于，所述石英托垫前后端设置有半圆形定位缺口，该定位缺口的大小和位置与船型石英舟上的小石英柱匹配。

6.根据权利要求5所述的分体式载物台，其特征在于，所述石英托垫的前后端分别设置凸起支撑；其中，前端支撑低于后端支撑；所述凸起支撑的高低使其上放置的石墨板的上表面与石英舟前端倾斜面处于同一平面。

7.根据权利要求5所述的分体式载物台，其特征在于，所述石英托垫的前端支撑为台阶状，以固定石墨板。

8.根据权利要求5所述的分体式载物台，其特征在于，所述石英托垫的前后端设置4个凸起支撑，其中，前端2个支撑低于后端2个支撑；所述凸起支撑的高低使其上放置的石墨板的上表面与石英舟前端倾斜面处于同一平面。

9.根据权利要求1所述的分体式载物台，其特征在于，所述船型石英舟与石英托垫均为高纯石英，其各项指标等于或高于美国GE214标准。

10.根据权利要求1所述的分体式载物台，其特征在于，所述石墨板上表面四周高于中间区域，在此形成放置衬底的区域，其中，四周与中间区域的高度差与衬底厚度相当。

11.根据权利要求10所述的分体式载物台，其特征在于，所述石墨板为高纯石墨压制形成的硬质块体，该硬质块体任选涂覆有碳化硅或碳化钽。