[发明专利]延迟器的制造方法

权利要求书

1.一种制造图案化的延迟器的方法，该方法包括以下步骤：

通过向基板施加延迟器材料来形成延迟器材料层；

在第一温度下对所述延迟器材料层进行干燥；

用线偏振UV对所述延迟器材料层进行曝光，其中所述延迟器材料层具有光学各向异性特性；以及

在高于所述第一温度的第二温度下对所述延迟器材料层进行热处理，以增加所述延迟器材料层的光学各向异性特性。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述延迟器材料包括：光敏基团，其在经过所述线偏振光曝光时显示出光学各向异性特性；以及液晶聚合物、液晶单体、低聚物或者它们的混合物，其具有在预定温度范围内显示出液晶特性的液晶元基团。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述延迟器材料还包括用于变平的流平添加剂。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，经所述线偏振UV曝光的所述延迟器材料层具有延迟轴，并且所述延迟轴垂直于所述线偏振UV的偏振轴。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，用所述线偏振UV对所述延迟器材料层进行曝光的步骤包括：向所述延迟器材料层照射第一偏振UV，以及向所述延迟器材料层照射第二偏振UV，其中经所述线偏振UV曝光的所述延迟器材料层包括具有不同延迟轴的第一相位图案和第二相位图案。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一偏振UV透过包括彼此交替的第一透光部和第一阻光部的第一掩模照射到所述延迟器材料层，而所述第二偏振UV透过包括彼此交替的第二透光部和第二阻光部的第二掩模照射到所述延迟器材料层，其中所述第二透光部对应于所述第一阻光部，并且所述第二阻光部对应于所述第一透光部。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一偏振UV照射到整个所述延迟器材料层，而所述第二偏振UV透过包括彼此交替的透光部和阻光部的掩模照射到所述延迟器材料层，其中所述第二偏振UV的能量是所述第一偏振UV的能量的1.5到10倍那么大。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一偏振UV透过包括彼此交替的透光部和阻光部的掩模照射到所述延迟器材料层，而所述第二偏振UV照射到整个所述延迟器材料层，其中所述第二偏振UV的能量是所述第一偏振UV的能量的0.1到0.9倍那么小。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述线偏振UV具有1mJ/cm²到1000mJ/cm²的能量和200nm到400nm的波长。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，使用下述方法之一来形成所述延迟器材料层：旋转涂布方法、狭缝涂布方法、刮刀方法、旋转狭缝涂布方法、辊对辊涂布方法以及铸涂方法；并且所述延迟器材料层具有小于5微米的厚度。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述基板包括下述之一：玻璃、塑料、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、三乙酰纤维素和环烯烃聚合物。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述延迟器材料层进行干燥是利用远红外加热器或者烘箱通过热辐射或者热对流现象来执行的，并且是在25摄氏度到80摄氏度的温度下实施30秒到30分钟。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述延迟器材料层进行热处理是利用远红外加热器或者烘箱通过热辐射或者热对流现象来执行的，并且是在80摄氏度到150摄氏度的温度下实施30秒到30分钟。