[发明专利]一种多晶硅太阳电池绒面的制造方法

权利要求书

1.一种多晶硅太阳电池绒面的制造方法，其特征在于采用微细电火花电解复合加工多晶硅表面，在电火花放电制得绒面结构的同时采用电解作为辅助加工方法，以得到均匀的绒面结构。

2.根据权利要求1所述的多晶硅太阳电池绒面的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

(1)准备多晶硅片、金属粉末，清洗多晶硅片；

(2)准备一均匀布置有磁铁的铝框架，将电火花加工机床的电极轴连接到铝框架上；

(3)将多晶硅片固定在接有电源的不锈钢板上，铝框架与多晶硅片平行放置，工作时，铝框架旋转并且平移扫描晶硅片，微小的金属粉末通过磁铁吸附在铝框架上，这些微小金属粉末在加工过程中作为微小电极，产生微细电火花，随着火花放电在铝框架和多晶硅片之间的发生，在复合工作液中产生高温电化学作用，从而实现多晶硅电火花电解以制得均匀的微纳米尺度的绒面结构；

(4)完成多晶硅片绒面后，用去离子水洗净，烘干，制得多晶硅太阳电池绒面。

2、根据权利要求2所述的多晶硅太阳电池绒面的制造方法，其特征在于所述金属粉末为微纳米尺度的合金粉末。

3.根据权利要求2所述的多晶硅太阳电池绒面的制造方法，其特征在于所述金合金粉末为铁基或镍基合金粉末。

4.根据权利要求2所述的多晶硅太阳电池绒面的制造方法，其特征在于所述铝框架通过套筒与电火花加工机床的电极轴连接，所述铝框架为十字形、六边形、圆形或者环形，磁铁均匀的设置在铝框架内部。

5.根据权利要求1～5中任一项所述的多晶硅太阳电池绒面的制造方法，所得到的具有绒面的多晶硅太阳电池。