[发明专利]一种高精度横向剪切干涉仪相移装置

权利要求书

1.一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，该装置包括：剪切光栅(1)、掩模板组件和基座(4)，其特征在于，该装置还包括：一维小行程高分辨率位移组件(2)、一维大行程位移组件(3)和相移器调平组件(5)；所述剪切光栅(1)位于一维小行程高分辨率位移组件(2)内并固定在一维小行程高分辨率位移组件(2)上；掩模板组件固定在一维小行程高分辨率位移组件(2)底部的固定基板(7)上，与一维小行程高分辨率位移组件(2)保持相对静止，一维小行程高分辨率位移组件(2)固定在一维大行程位移组件(3)上，一维大行程位移组件(3)固定在基座(4)上，相移器调平组件(5)与基座(4)底部连接。

2.如权利要求1所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述一维小行程高分辨率位移组件(2)包括：基板(7)、压板(6)、压电陶瓷(8)和复合柔性平行四杆机构(9)；剪切光栅(1)上表面通过压板(6)固定在基板(7)上，压电陶瓷(8)与基板(7)的左侧连接，在基板(7)上加工出复合柔性平行四杆机构(9)。

3.如权利要求2所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述复合柔性平行四杆机构(9)通过在基体上线切割技术、电火花、慢走丝精密加工方法加工出圆弧和缝隙，在圆弧切口处形成弹性支点而与基体加工后剩余部分成为一体。

4.如权利要求1所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述一维大行程位移组件(3)包括：V形滚珠导轨(10)、导轨滑台(11)、自锁紧弹簧(12)、导轨基板(13)和微分鼓轮(14)；V形滚珠导轨(10)固定在导轨基板(13)的两侧，导轨滑台(11)位于导轨基板(13)内侧，微分鼓轮(14)与导轨基板(13)一端连接，自锁紧弹簧(12)与导轨基板(13)另一端连接。

5.如权利要求4所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述导轨基板(13)采用4J32材料。

6.如权利要求1所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述相移器调平组件(5)包括：第二压电陶瓷(15)、顶杆(16)、球节(17)和预紧弹簧(18)；第二压电陶瓷(15)的上端与顶杆(16)下端连接；顶杆(16)上端与球节(17)下端连接；预紧弹簧(18)固定在顶杆(16)两侧。

7.如权利要求1所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述剪切光栅(1)侧面有凹槽，下表面通过聚四氟乙烯材料的垫片与一维小行程高分辨率位移组件(2)固定。

8.如权利要求1所述的一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，其特征在于，所述掩模板组件通过在镀铬融石英材料上刻蚀出两个通光窗口后粘接在一维小行程高分辨率位移组件(2)的基板(7)上。