[发明专利]玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法有效
申请号: | 201110440972.9 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN102528644A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 丸山直刚;斋藤准一;水野孝信;生田康成;奥平光示 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B37/07 | 分类号: | B24B37/07;B24B37/34 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王凝;陆锦华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃板 连续 研磨 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法。
背景技术
目前,玻璃等板状体的研磨为了实现完成面的均匀化,使平台偏心摆动而进行研磨。即,在使平台的姿势保持为一定的状态下,使平台偏心旋转而进行研磨。由此,不管平台取哪个点,周速都为一定,能够实现研磨的均匀化。
例如在专利文献1中,作为自动地连续研磨液晶用的玻璃基板那样的比较薄的玻璃板的连续研磨装置,公开了如下装置:在研磨台车上搭载玻璃板而移送时,在沿移送方向移动的研磨台车的上方排列配置多个具有研磨垫的研磨工具,分别使其偏心旋转,通过各研磨工具从上开始连续地对搭载于研磨台车上而移送的玻璃板进行研磨。
此时专利文献1所记载的连续研磨装置中,分别偏心旋转的研磨工具设置成相邻的研磨工具的旋转相位反转180度,特别是偶数个研磨工具相对于玻璃板工作时,使施加于玻璃板的负荷相互抵消。而且,将这多个研磨工具结合于一个驱动轴而驱动,使其同时旋转。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本特开平2-83150号公报
如上述现有技术那样,通过偏心轴使研磨工具偏心旋转从而进行平面研磨的装置中,利用多个研磨工具对被研磨件进行连续研磨时,使对被研磨件作用的负荷相互抵消成为大的课题。
但是,特别是伴随被研磨件大型化,研磨装置整体也大型化,作用于被研磨件的负荷也相对增加,因此如上述现有技术那样,在将多个研磨工具结合于一个驱动轴而驱动,并设置成相邻的2个研磨工具的旋转相位反转180度,从而欲使作用于被研磨件的负荷相互抵消的装置中,存在不能应对装置的大型化的问题。
而且,如上述现有的连续研磨装置那样,利用基于一个驱动源的驱动轴同时使全部研磨工具偏心旋转的装置中,存在不能应对研磨工具的多种用途的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题而创立,其目的在于,提供一种玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法,其使从研磨工具作用于被研磨件的负荷相互抵消,减少装置的振动,容易使研磨装置大型化。
为了达成上述目的,本发明提供一种玻璃板的连续研磨装置,具有将玻璃板向一个方向移送的研磨台和在该研磨台的上方沿玻璃板的移送方向配置的多个研磨工具,各研磨工具具有从该研磨工具的质量中心偏心的偏心轴,以该研磨工具的研磨面和所述玻璃板的被研磨面平行的方式,保持该研磨工具的姿势的同时进行绕所述偏心轴公转的偏心旋转运动,且将相邻至少3个以上的研磨工具作为1组,设定构成该组的各研磨工具的旋转相位差,以使由构成该组的研磨工具产生的反作用力相互抵消。
由此,能够使从研磨工具作用于被研磨件的负荷相互抵消,减少装置的振动。
另外,同样为了达成上述目的,本发明提供一种玻璃板的连续研磨装置,具有将玻璃板向一个方向移送的研磨台和在该研磨台的上方沿玻璃板的移送方向配置的多个研磨工具,各研磨工具具有从该研磨工具的质量中心偏心的偏心轴,以该研磨工具的研磨面和所述玻璃板的被研磨面平行的方式,保持该研磨工具的姿势的同时进行绕所述偏心轴公转的偏心旋转运动,且将相邻至少2个以上的研磨工具作为1组,设定构成该组的各研磨工具的旋转相位差,以使由构成该组的研磨工具产生的反作用力相互抵消,使所述组中的各研磨工具间的旋转相位差对每个所述组均相同,并能够调整所述组彼此之间的旋转相位差。
由此,不仅在构成各组的研磨工具之间使从研磨工具作用于被研磨件的负荷相互消除,还在各组之间也同样地使负荷相互消除,因此能够更进一步地使负荷相互抵消,能够进一步减少装置的振动。
另外,本发明的玻璃板的连续研磨装置中,优选,所述多个研磨工具中的任一研磨工具停止时,在除了包括该停止的研磨工具的组以外的其他组中,或在除了该停止的研磨工具以外的研磨工具之间新形成的组中,能够调整该组彼此之间的旋转相位差。
由此,在任意的研磨工具因故障、停止或维修等而不能有助于研磨动作时,能够利用除了该研磨工具以外的其他研磨工具调整旋转相位差。
另外,本发明的玻璃板的连续研磨装置中,优选,设构成所述组的研磨工具的个数为m时,所述组内的各研磨工具间的旋转相位差设为360度/m。
由此,例如能够在设4个研磨工具为1组时设定旋转相位差为90度,在设8个研磨工具为1组时设定旋转相位差为45度,从而使各组内的负荷完全相互消除。
另外,本发明的玻璃板的连续研磨装置中,优选,根据实际驱动的所述各组包括的所述研磨工具的个数,设定所述组彼此之间的旋转相位差。
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