[发明专利]一种氮化铝陶瓷的表面金属化方法无效
| 申请号： | 201110441059.0 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102515874A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 鲁燕萍;杜斌;杨艳玲;杨华猛;刘征 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 李勤媛 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 表面 金属化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化铝陶瓷的表面金属化方法，其特征在于，按照以下工艺步骤进行操作，
a.陶瓷表面清洗；
b.在干燥炉内(100～150)℃环境下烘干4～4.5小时；
c.继续烘烤，在150℃下，烘烤15分钟；
d.按薄膜形成工艺，采用Ti、Zr或Ta，形成第一层金属膜，厚度为
e.采用Cu、Au、或W、Mo、Ni、Ta、Zr，或W-Cu、Mo-Cu合金形成第二层金属膜，厚度为
f.采用Ni、Au或Cu形成第三层金属膜，厚度为1～5μm。
2.按照权利要求1所述的氮化铝陶瓷的表面金属化方法，其特征在于，所述第一、第二层膜优选采用磁控溅射镀膜法，第三层膜优选采用电镀或化学镀方法形成。
3.按照权利要求1所述的氮化铝陶瓷的表面金属化方法，其特征在于，可以预先对金属化层进行700-900℃的热处理，然后进行钎焊。
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