[发明专利]一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种旋转管的制作装置及其工艺，特别是涉及一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺。

背景技术

自美国镀膜设备供应商开发出旋转阴极靶材，靶材的利用率由传统矩形平面靶的40%提高到80%，大量节约镀膜成本，从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广泛应用。 然而，制备长达4米的矩形平面靶尚且不易，而制备相同长度、直径Φ150~190mm的中空圆柱靶，更为不易，現有旋转Sn、ZnSn、ZnAl等低熔点的靶材一般都是采用浇铸和喷涂工艺。在实际的使用过程中，存在着浇铸工艺制备的管型管不可避免晶粒的过分长大，影响镀膜的均匀性；喷涂工艺得到的管型管材料O、N含量都较高，且致密度较低，导致膜层品质与靶材寿命相对较低。

由此可见，上述现有的低熔点的靶材的制作工艺，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决低熔点的靶材的制作工艺存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般工艺又未能解决上述问题，因此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的低熔点的靶材的制作工艺存在的缺陷，本发明人基于多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺，能够改进一般现有的低熔点的靶材的制作工艺，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试验，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的低熔点靶材制作工艺存在的缺陷，而提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，所要解决的技术问题是使其可以制作带有内衬管的旋转靶材，使用具有冷却作用的环形模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，进而得到晶粒细致的旋转靶材，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的另一目的在于，提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，所要解决的技术问题是使其制作的带有内衬管的旋转靶材，晶粒细致，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。

前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。

前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。

本发明的另一目的在于，提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，所要解决的技术问题是使其制作的带有内衬管的旋转靶材，晶粒细致，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，应用于低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤：

A、将坩埚熔汤倒入带有内衬管的胚料管内，所述胚料管通过所述电机匀速上升，并保持模具内熔汤的在卡槽上部的高度不变；

B、从设置在模具侧壁上的入水口注入冷却水，从模具侧壁上的出水口流出。

借由上述技术方案，本发明低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其方法至少具有下列优点：

本发明使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。

综上所述，本发明特殊结构的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的低熔点的靶材的制作工艺具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明