[发明专利]用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及制作方法

权利要求书

1.一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具，其特征在于，包括：

底座，固定在所述底座上的金属衬管和外模具，所述金属衬管设置在外模具内，所述底座内设置有内部加热器，所述外模具的外部设置有外部加热器，所述金属衬管和所述外模具的顶部之间设置有石墨槽。

2.根据权利要求1所述的用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具，其特征在于，所述外部加热器为多节外部加热器。

3.根据权利要求1所述的用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具，其特征在于，所述外模具为圆筒型。

4.根据权利要求1所述的用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具，其特征在于，所述外模具为拼装的两个半圆筒型模具。

5.根据权利要求1所述的用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具，其特征在于，所述底座上设置有固定所述金属衬管和外模具的凹槽，在所述凹槽内设置有石墨垫片。

6.一种制备铝及铝基合金旋转靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：

A、打开设置在模具内的多节外加热器和内加热器，进行预热，并且使得制备模具内充满惰性保护气体；

B、将旋转靶的基材预先用熔炼炉熔化，浇铸前溶液的温度高于基材熔点的温度50-100℃，然后把基材溶液缓慢的通过设置在制备模具顶部的石墨槽浇注到制备模具腔体内；

C、浇注完成后，关闭外侧最底端的那节外加热器的电源，等待2-10分钟后再关闭上一节的外部加热器，以此类推，最后把所有的外加热器都关闭后，再关闭内部加热器；

D、等待模具冷却到室温，便可打开模具，取出靶材。

7.根据权利要求6所述的制备铝及铝基合金旋转靶材的方法，其特征在于，所述基材为铝或铝基合金。

8.根据权利要求6所述的制备铝及铝基合金旋转靶材的方法，其特征在于，在步骤A中充入惰性保护气体为氩气。