[发明专利]使用温度可控的限制环的刻蚀装置

权利要求书

1.一种使用温度可控的限制环的刻蚀装置，所述限制环包括：

限制部件，为圆环形，用于限制刻蚀气体流动范围；

控温部件，用于控制刻蚀气体的温度，

所述控温部件位于所述限制部件的外周。

2.如权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述控温部件包括用于加热的加热管和用于冷却的冷却管。

3.如权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，所述加热管由电热材料制成，加热功率为1000-5000瓦。

4.如权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，所述冷却管内还设置有可热交换的制冷剂，用于精确调节并控制控温部件的温度。

5.如权利要求4所述的刻蚀装置，其特征在于，所述制冷剂是水或者其他性能稳定的液体。

6.如权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述限制部件为悬置状态。

7.如权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述限制部件由绝缘材料制成。

8.如权利要求1所述的限制环，其特征在于，所述限制部件由SiC制成。

9.如权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述限制部件由耐腐蚀的无金属污染的导体材料制成。

10.如权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述限制部件厚度为0.25-2英寸。